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상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치 및 방법(FABRICATION APPARATUS AND METHOD OF SMART WINDOW USING ROOM TEMPERATURE PLASMA ASSISTED POWDER DIRECT DEPOSITION)

  • 기술번호 : KST2017013255
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기재인 투명 기판 또는 상기 투명 기판과 대면하는 상대 투명 기판이 거치되는 내부 공간을 형성한 진공 챔버; 상기 진공 챔버에 일정 정도의 진공압을 유지시키는 진공 펌프; 상기 투명 기판 또는 상기 상대 투명 기판에 적층된 상기 기재의 표면측으로 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말을 공급하는 분말 공급부; 상기 분말 공급부를 통하여 공급된 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말을 상기 기재의 표면에 일정 압력으로 분사하여 일정 두께로 적층시키는 분사 노즐; 및 상기 분사 노즐의 단부와 인접하게 배치되고, 상기 분사 노즐의 단부와 상기 기재 사이에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 포함하며, 전기변색 물질인 전기변색물질 나노마이크로 분말 입자 및 이온저장 물질인 이온저장물질 나노마이크로 분말 입자를 상온 및 플라즈마 발생 환경하에 비교적 낮은 진공 압력으로 적층시킬 수 있으며, 전기변색물질 나노마이크로 분말 입자 및 이온저장물질 나노마이크로 분말 입자의 적층 작업 등 일체를 저렴하고 간단한 구성으로 실시할 수 있도록 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL C23C 4/134 (2016.03.26) C23C 4/137 (2016.03.26) C23C 4/123 (2016.03.26) C09K 9/00 (2016.03.26)
CPC C23C 4/134(2013.01) C23C 4/134(2013.01) C23C 4/134(2013.01) C23C 4/134(2013.01)
출원번호/일자 1020160014375 (2016.02.04)
출원인 서울대학교산학협력단, 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0092989 (2017.08.14) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.04)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 추원식 대한민국 서울특별시 관악구
2 안성훈 대한민국 서울특별시 관악구
3 박성익 대한민국 서울특별시 관악구
4 김세헌 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0123751-11
2 보정요구서
Request for Amendment
2016.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0026080-89
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0182242-11
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0038759-67
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0923303-70
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0179721-32
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0280408-04
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0392129-19
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0392128-63
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0598827-81
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0949861-10
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.28 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2017-0949862-66
14 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2017.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0137751-11
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0779087-46
16 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2017.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0779086-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재인 투명 기판 또는 상기 투명 기판과 대면하는 상대 투명 기판이 거치되는 내부 공간을 형성한 진공 챔버;상기 진공 챔버에 일정 정도의 진공압을 유지시키는 진공 펌프;상기 투명 기판 또는 상기 상대 투명 기판에 적층된 상기 기재의 표면측으로 전기변색물질 나노마이크로 분말(입자 직경이 나노미터 또는 마이크로미터인 분말) 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말을 공급하는 분말 공급부;상기 분말 공급부를 통하여 공급된 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말을 상기 기재의 표면에 일정 압력으로 분사하여 일정 두께로 적층시키는 분사 노즐; 및상기 분사 노즐의 단부와 인접하게 배치되고, 상기 분사 노즐의 단부와 상기 기재 사이에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 포함하며,상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말은 상온에서 분사되는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 진공 펌프와 상기 플라즈마 발생기와 상기 분말 공급부는 순차적으로 가동되고, 상기 기재의 표면에 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 이온저장물질 나노마이크로 분말의 적층이 완료되면 상기 플라즈마 발생기 및 상기 분말 공급부가 가동 정지된 후 상기 진공 펌프가 가동 정지되어 상기 진공 챔버 내부가 대기압 상태가 되는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 진공압은 9
4 4
청구항 1에 있어서,상기 분사 노즐은,상기 분말 공급부와 배관 연결되는 양단 관통의 노즐 몸체와,상기 노즐 몸체의 일단부에 형성되어 상기 분말 공급부와 연통되고, 제1 길이의 폭을 가진 입구 포트와,상기 노즐 몸체의 타단부에 형성되어 상기 기재의 표면측과 대면하고, 상기 제1 길이보다 작은 제2 길이의 폭을 형성하는 출구 포트와,상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에 상기 제2 길이보다 작은 제3 길이의 폭을 형성하는 교축부를 포함하며,상기 교축부로부터 상기 입구 포트까지의 제1 거리는 상기 교축부로부터 상기 출구 포트까지의 제2 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 분사 노즐은,상기 분말 공급부와 연결되는 일단부로부터 상기 기재 표면과 대면하는 타단부로 갈수록 점차 폭이 좁아지게 형성되며 마주보는 내부 사면에 의하여 이루어진 내부 유로를 포함하며,상기 내부 사면은 직선 형상 또는 원호 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
6 6
청구항 5에 있어서,상기 분사 노즐은,상기 내부 유로의 일단부측을 형성하는 것으로, 상기 분말 공급부와 배관 연결되는 양단 관통의 노즐 몸체의 일단부에 형성되고 제1 길이의 폭을 가진 입구 포트와,상기 노즐 몸체의 타단부에 형성되어 상기 기재의 표면측과 대면하고, 상기 제1 길이보다 작은 제2 길이의 폭을 형성하는 출구 포트와,상기 내부 유로의 타단부측을 형성하는 것으로, 상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에 상기 제2 길이보다 작은 제3 길이의 폭을 형성하는 교축부를 포함하며,상기 교축부로부터 상기 입구 포트까지의 제1 거리는 상기 교축부로부터 상기 출구 포트까지의 제2 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
7 7
청구항 1에 있어서,상기 전기변색물질 나노마이크로 분말은,WO3, TiO2, V2O5, Cr2O3, MnO2, FeO2, CoO2, NiO, Nb2O5, MoO3, RhO2, Ta2O5, IrO2 중 하나인 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
8 8
청구항 1에 있어서,상기 이온저장물질 나노마이크로 분말은,CeO2, In2O3, SnO2, ATO 중 하나인 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 장치
9 9
투명 기판을 진공 챔버 내부에 구비된 스테이지에 장착하고, 전기변색물질 나노마이크로 분말 및 이온저장물질 나노마이크로 분말을 각각 분말 공급기에 적재하는 제1 단계;진공 펌프를 가동시켜 상기 진공 챔버를 진공 상태로 만듦과 동시에, 상기 분말 공급기를 통하여 공급된 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말을 상기 기재의 표면에 일정 압력으로 분사하여 일정 두께로 적층시키는 분사 노즐의 단부와 상기 기재 사이에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 가동시키는 제2 단계;상기 분말 공급기와 연결된 에어 컴프레서를 가동시켜 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말이 상기 분말 공급기로부터 상기 분사 노즐을 통해 상기 투명 기판측으로 분사되게 함과 동시에, 상기 스테이지를 전, 후, 좌, 우 또는 상, 하, 전, 후, 좌, 우로 이동시켜 상기 전기변색물질 나노마이크로 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말을 상기 투명 기판의 상기 기재의 표면에 적층시키는 제3 단계; 및상기 기재의 표면에 적층이 완료되면 상기 플라즈마 발생기 및 상기 에어 컴프레서의 가동을 정지시키고, 상기 진공 펌프도 가동을 정지시킨 후, 상기 진공 챔버의 내부 압력을 대기압 상태로 만든 후 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말이 적층된 투명전극 기판을 꺼내는 제4 단계를 포함하며,상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말은 상온에서 분사되는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
10 10
청구항 9에 있어서,상기 제4 단계는,상기 기재의 표면상에 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말이 적층된 상기 투명 기판과, 상기 기재의 표면상에 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말이 적층된 별도의 투명 기판 사이에 전해질을 채우는 과정과,상기 투명 기판과 상기 별도의 투명 기판을 접착제로 패키징하는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
11 11
청구항 9에 있어서,상기 전기변색물질 나노마이크로 분말 또는 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말은 각각 별개로 별도의 투명 기판의 상기 기재 표면 상에 각각 적층되는 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
12 12
청구항 10에 있어서,상기 기재의 표면 상에 적층되어 형성된 상기 전기변색물질 나노마이크로 분말에 의하여 형성된 전기변색물질 나노마이크로 레이어는 전기변색 물질이며,상기 기재의 표면 상에 적층되어 형성된 상기 이온저장물질 나노마이크로 분말에 의하여 형성된 이온저장물질 나노마이크로 레이어는 이온저장 물질인 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
13 13
청구항 9에 있어서,상기 전기변색물질 나노마이크로 분말은,WO3, TiO2, V2O5, Cr2O3, MnO2, FeO2, CoO2, NiO, Nb2O5, MoO3, RhO2, Ta2O5, IrO2 중 하나인 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
14 14
청구항 9에 있어서,상기 이온저장물질 나노마이크로 분말은,CeO2, In2O3, SnO2, ATO 중 하나인 것을 특징으로 하는 상온 플라즈마 하이브리드 분말 적층 방식을 이용한 스마트 윈도우 제작 방법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한양대학교 에리카산학협력단 에너지기술개발사업 1m2 급 대면적 스마트 윈도우를 위한 저가 제조 기술 개발