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2차원 센서물질의 민감도 향상 방법에 있어서,그 위에 탑재되는 2차원 센서 물질 함유 박막 상에 나노스케일의 지형(topography) 및 비균일 정전 전위(non-uniform electrostatic potential)을 제공할 수 있는 기재를 준비하는 제1단계; 및제1단계의 기재에 2차원 센서 물질 함유 박막을 전사 또는 인쇄하는 제2단계를 포함하는 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 나노스케일의 지형(topography) 및 비균일 정전 전위(non-uniform electrostatic potential)을 제공할 수 있는 기재에 의해 그 위에 탑재되는 2차원 센서 물질 함유 박막의 전하 이동도를 감소시켜 저항을 증가시키는 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 2차원 센서 물질은 그래핀, ZnO, TiO2, WS2, MoS2, graphene oxide로 구성된 군에서 선택된 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 2차원 센서 물질은 CVD graphene, chemically or mechanically exfoliated graphene, 또는 epitaxially grown graphene인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 2차원 센서물질 함유 박막은 n-도핑 흡착물질 또는 p-도핑 흡착물질을 흡착하는 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 제2단계에서, 상기 기재에 의해 2차원 센서 물질 함유 박막에 지형(topography) 및 이질적인 전위 랜드스케이프(heterogeneous potential landscape)가 제공되는 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 제1단계의 기재는 나노스케일의 굴곡을 갖는 기하학적 표면 구조를 갖는 유전체인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 제1단계의 기재는 리소그래피로 패턴된 기재 또는 비균일 유전율(non-uniform dielectric constants)을 가진 기재인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 제2단계에서 전사된 2차원 센서 물질 함유 박막을 리소그래피하는 제3단계를 더 포함하는 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제9항에 있어서, 제3단계에서 리소그래피는 스텐실 리소그래피, photolithography, 또는 e-beam lithography인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 제2단계에서 2차원 센서 물질 함유 박막을 인쇄하는 방법은 inkjet printing인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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제1항에 있어서, 나노스케일의 지형(topography) 및 불균질한 정전 전위(non-homogeneous electrostatic potential)을 제공할 수 있는 기재는 나노다공성 양극 산화 알루미늄 (AAO)인 것이 특징인 2차원 센서물질의 민감도 향상 방법
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나노스케일의 굴곡을 갖는 기하학적 표면 구조를 갖는 기재; 상기 기재 상에 위치한 2차원 센서물질 함유 박막을 구비하되, 상기 기재에 의해 2차원 센서물질 함유 박막에 나노스케일의 지형(topography) 및 불균일한 정전 전위(non-homogeneous electrostatic potential)가 부가된 것이 특징인 민감도가 향상된 2차원 센서물질 함유 복합체
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제13항에 있어서, 2차원 센서물질 함유 박막은 그래핀 단일층(mono layer)인 것이 특징인 2차원 센서물질 함유 복합체
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제13항에 있어서, 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 의해 기재된 방법에 의해 제조된 것이 특징인 2차원 센서물질 함유 복합체
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2차원 센서물질의 민감도가 향상된 박막형 센서 소자에 있어서,2차원 센서 물질 함유 박막; 및 그 위에 위치한 2차원 센서 물질 함유 박막에 나노스케일의 지형(topography) 및 불균일 정전 전위를 제공하는 기재를 포함하는 것이 특징인 박막형 센서 소자
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제16항에 있어서, 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 의해 기재된 방법에 의해 제조된 것이 특징인 박막형 센서 소자
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