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듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경(Dual channel scattering near-field scanning optical microscopy)

  • 기술번호 : KST2017013371
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 동일 패스에 두 개의 편광상태가 공존하여 각각의 편광빔이 독립적인 간섭계를 구성하도록 하고, 서로 다른 위상을 갖는 편광빔을 듀얼 채널 검출기에서 각각 측정하여 시편의 광학물성 정보만을 신속하게 측정 가능한 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경에 관한 것이다.
Int. CL G01Q 60/18 (2016.03.10) G02B 5/30 (2016.03.10) G02B 27/10 (2016.03.10) G02B 5/32 (2016.03.10) G01J 4/00 (2016.03.10)
CPC G01Q 60/18(2013.01) G01Q 60/18(2013.01) G01Q 60/18(2013.01) G01Q 60/18(2013.01) G01Q 60/18(2013.01) G01Q 60/18(2013.01)
출원번호/일자 1020160014569 (2016.02.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0093327 (2017.08.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이은성 대한민국 대전광역시 유성구
2 권혁상 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0125118-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0041934-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0197097-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0469396-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0468307-44
7 등록결정서
Decision to grant
2017.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0583560-45
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
1 1
광을 조사하는 광원(100);상기 광원(100)으로부터 발생된 광이 통과하여 제1편광 및 제2편광을 생성시키는 45도 편광판(200);상기 45도 편광판(200)을 통과한 광을 분할하는 제1빔스플리터(310);시편의 표면을 둘러싸는 근접장 내에 배치되어, 상기 제1빔스플리터(310)를 거쳐 집속렌즈(510)를 통과한 광을 산란시키는 탐침(500);상기 제1빔스플리터(310)를 거친 제1편광 및 제2편광이 통과된 다음, 반사미러(440)에서 반사되는 과정을 통해, 상기 제1편광 및 제2편광 사이에 위상차가 발생되도록 하는 제1위상차판(410);상기 반사미러에서 반사되어 상기 제1위상차판(410) 및 제1빔스플리터(310)를 통과한 다음, 상기 탐침(500)으로부터 산란된 광과 간섭시킨 제1편광 및 제2편광이, 서로 다른 패스로 분할되도록 하는 제2빔스플리터(320);상기 제2빔스플리터(320)에서 분할된 제1편광 성분이 제1대물렌즈(610)를 통과하여 검출되는 제1검출기(710); 및상기 제2빔스플리터(320)에서 분할된 제2편광 성분이 제2대물렌즈(620)를 통과하여 검출되는 제2검출기(720);를 포함하며,상기 광원이 상기 집속렌즈(510) 및 탐침(500)을 지나는 제1경로(L1)와,상기 광원이 상기 제1위상차판(410) 및 반사미러(440)를 지나는 제2경로(L2)를 포함하되,상기 제1경로(L1) 및 제2경로(L2) 중 어느 하나는 상기 제1빔스플리터(310)를 통과한 광이 지나가는 경로 상에 배치되고,나머지 하나는 상기 제1빔스플리터(310)에서 반사된 광이 지나가는 경로 상에 배치되며,상기 제1경로(L1) 상에 위치하며, 상기 시편에 수직 또는 수평으로 조사되는 편광을 만들어주는 제2위상차판(420)과 편광기(430)를 포함하고,상기 제2위상차판(420)은 λ/2 wave plate 인 것을 특징으로 하는 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경
2 2
삭제
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제 1항에 있어서,상기 제1위상차판(410)은λ/8 wave plate 인 것을 특징으로 하는 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경
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삭제
5 5
삭제
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제 1항에 있어서,상기 제1검출기(710) 및 제2검출기(720)에서 검출된 이미지를 산술적으로 처리하는 제3검출기(730)를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경
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제 6항에 있어서,상기 제1검출기(710), 제2검출기(720) 및 제3검출기(730)는포토다이오드 ,CCD(charge coupled device), MCT(MOS Controlled Thyristor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경
지정국 정보가 없습니다
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1 WO2017135732 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017135732 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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