| 1 |
1
기판 상에 형성되고, 개구부를 형성하는 스페이서층;상기 스페이서층의 상부에 형성된 탄성 덮개부;상기 개구부에 의해 노출된 기판과 대향하고, 상기 탄성 덮개부 상에 형성된 도전체;상기 개구부의 반분선을 따라 상기 개구부의 중심에 배치되는 출력 라인; 및상기 개구부 상에 형성되고, 상기 출력 라인으로부터 소정 간격 이격되어 배치되는 입력 라인들을 포함하고,상기 탄성 덮개부에 인가되는 압력의 크기에 따라 상기 출력 라인과 상기 입력 라인들은 전기적으로 연결되고,상기 출력 라인에는 출력 저항이 연결되고, 상기 출력 저항은 상기 개구부 외부에 배치되며, 상기 입력 라인에는 입력 저항이 연결되며, 상기 입력 저항은 상기 개구부 외부에 배치되며,상기 출력 라인이 n 비트의 디지털 신호를 출력하는 경우, 상기 입력 라인들은 2n-1 개를 가지고,양의 레벨이 인가되는 x번째 입력 신호를 Vx라 정의하고, 음의 레벨 또는 접지 레벨이 인가되는 y번째 입력 신호를 Vy라 정의한다면, 상기 x와 y는 하기의 수학식 11로 도출되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 n 비트의 디지털 신호는 시계열적인 직렬 신호의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 탄성 덮개부에 인가되는 압력이 증가함에 따라 상기 출력 라인은 이격거리가 증가하는 상기 입력 라인과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 7 |
7
기판 상에 형성되고, 개구부를 형성하는 스페이서층;상기 스페이서층의 상부에 형성된 탄성 덮개부;상기 개구부에 의해 노출된 기판과 대향하고, 상기 탄성 덮개부 상에 형성된 n 개의 도전체들;상기 개구부의 반분선을 따라 상기 개구부의 중심으로부터 외곽을 향하여 배치되는 n 개의 라인 그룹들; 및상기 탄성 덮개부에 인가되는 압력의 크기에 따라 상기 각각의 라인 그룹들 내부의 출력 라인과 입력 라인은 전기적으로 연결되고,상기 n 개의 도전체들은 상호간에 전기적으로 절연이며,상기 각각의 라인 그룹들 내부의 상기 출력 라인은 n 비트의 병렬 디지털 출력을 형성하고,상기 각각의 라인 그룹은 출력 라인 및 입력 라인을 포함하고, 상기 출력 라인은 적어도 하나의 도전성 라인이며, 상기 입력 라인은 2n-(k-1)-1(k는 n 이하의 자연수) 개로 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
제7항에 있어서, 양의 레벨이 인가되는 x번째 입력 신호를 Vx라 정의하고, 음의 레벨 또는 접지 레벨이 인가되는 y번째 입력 신호를 Vy라 정의한다면, 상기 x와 y는 하기의 수학식 18로 도출되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 12 |
12
제7항에 있어서, 상기 각각의 입력 라인에 연결되는 입력 저항은 상기 개구부 외부에 배치되고, 상기 출력 라인에 연결되는 출력 저항은 상기 개구부 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 13 |
13
제7항에 있어서, 상기 하나의 도전체 하부에는 하나의 라인 그룹이 배치되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 14 |
14
제13항에 있어서, 상기 라인 그룹은 개구부의 반분선의 일부에 배치되는 출력 라인; 및상기 출력 라인으로부터 소정 거리로 이격되는 적어도 하나의 입력 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 15 |
15
기판 상에 형성되고, 개구부를 형성하는 스페이서층, 상기 스페이서층의 상부에 형성된 탄성 덮개부, 상기 개구부에 의해 노출된 기판과 대향하고, 상기 탄성 덮개부 상에 형성된 도전체, 상기 개구부의 반분선을 따라 상기 개구부의 중심에 배치되는 출력 라인 및 상기 개구부 상에 형성되고, 상기 출력 라인으로부터 소정 간격 이격되어 배치되는 입력 라인들을 포함하는 압력 센서의 동작 방법에 있어서,시계열적으로 n 개의 구간을 설정하여, 각각의 구간이 최하위 비트부터 최상위 비트까지의 비트를 형성하며, 인가하는 압력에 상응하는 n 비트의 직렬 디지털 신호를 생성하고,양의 레벨이 인가되는 x번째 입력 신호를 Vx로 정의하고, 음의 레벨 또는 접지 레벨이 인가되는 y번째 입력 신호를 Vy로 정의한다면, 상기 x와 y는 하기의 수학식 11로 도출되는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 동작 방법
|
| 16 |
16
삭제
|
| 17 |
17
기판 상에 형성되고, 개구부를 형성하는 스페이서층, 상기 스페이서층의 상부에 형성된 탄성 덮개부, 상기 개구부에 의해 노출된 기판과 대향하고, 상기 탄성 덮개부 상에 형성된 n 개의 도전체들, 상기 개구부의 반분선을 따라 상기 개구부의 중심으로부터 외곽을 향하여 배치되는 n 개의 라인 그룹들 및 상기 탄성 덮개부에 인가되는 압력의 크기에 따라 상기 각각의 라인 그룹들 내부의 출력 라인과 입력 라인은 전기적으로 연결되는 압력 센서의 동작 방법에 있어서, 적어도 1회의 입력 전압 제어로 n 비트의 병렬 디지털 신호를 생성하고,상기 각각의 라인 그룹 내에서 양의 레벨이 인가되는 x번째 입력 신호를 Vx로 정의하고, 음의 레벨 또는 접지 레벨이 인가되는 y번째 입력 신호를 Vy로 정의한다면, 상기 x와 y는 하기의 수학식 18로 도출되는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 동작 방법
|
| 18 |
18
삭제
|
