요약 | 본 출원은 금속 질화물층 필름의 제조방법, 상기 방법에 의해 제조된 필름 및 상기 필름을 포함하는 발광 다이오드에 관한 것이다. 본 출원의 방법에 의하면, 황을 함유하는 화합물을 포함하는 용액에 금속 전구체를 포함하는 용액을 스프레이하여 금속 나노 입자 전구체의 폭발적인 반응 속도를 억제함으로써, 적은 비용으로도 상기 전구체 나노 입자의 입자 크기를 작게 제어할 수 있고, 이에 따라, 균일한 표면 거칠기를 가지는 필름을 대면적으로 제조할 수 있으며, 또한, 황을 함유하는 화합물과 금속 전구체의 반응에 의해 형성된 상기 금속 전구체 나노 입자가 황을 함유하므로, 상기 금속 나노 입자 전구체로부터 형성된 금속 질화물층 표면에서 황 성분이 광루미네선스 스펙트럼 상으로 검출되는 필름을 제공할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 21/02 (2016.03.22) H01L 33/44 (2016.03.22) C30B 29/54 (2016.03.22) C30B 25/20 (2016.03.22) C30B 25/18 (2016.03.22) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020160016374 (2016.02.12) |
출원인 | 영남대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2017-0094977 (2017.08.22) |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | |
심사청구항수 | 0 |