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데이터를 처리하는 프로세서;메탈 라인을 포함하며 상기 프로세서의 상부에 배치되는 쉴드;레퍼런스 신호를, 상기 레퍼런스 신호가 상기 쉴드를 통과하여 출력되는 출력 신호와 비교함으로써 상기 쉴드 내에 배선 변경이 있는지 여부를 감지하는 감지부; 및상기 메탈 라인의 라우팅 토폴로지를 제1 상태로 구성하고, 상기 라우팅 토폴로지를 상기 제1 상태로부터 제2 상태로 변경하여 구성하는 컨트롤러를 포함하는 반도체 칩
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제1항에 있어서,상기 컨트롤러가 상기 라우팅 토폴로지를 구성하도록 하는 구성 신호(configuration signal)을 제공하는 난수 생성기를 더 포함하는 반도체 칩
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제2항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 난수 생성기가 제공하는 상기 구성 신호에 따라 상기 라우팅 토폴로지를 변경할 수 있는 적어도 하나의 초퍼 어레이를 포함하는 반도체 칩
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제2항에 있어서,상기 난수 생성기는 시간에 따라 주기적으로 상기 구성 신호를 무작위로 변경하여 상기 컨트롤러가 상기 라우팅 토폴로지를 지속적으로 바꾸도록 하는 반도체 칩
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제2항에 있어서,상기 레퍼런스 신호는 상기 난수 생성기가 상기 구성 신호와 별도로 만드는 신호인 반도체 칩
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제1항에 있어서,상기 레퍼런스 신호는 서로 독립적으로 생성되는 제1 입력 신호 및 제2 입력 신호를 포함하고, 상기 감지부는 상기 제1 입력 신호 및 상기 제2 입력 신호가 각각 상기 쉴드를 통과해서 출력되는 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호를 상기 제1 입력 신호 및 상기 제2 입력 신호와 비교하여 상기 쉴드 내에 배선 변경이 있는지의 여부를 감지하는 반도체 칩
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제5항에 있어서,상기 감지부는 상기 메탈 라인의 라우팅 토폴로지에 따라 상기 제1 입력 신호를 서로 다른 포트에서 출력되는 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호 중 어느 하나와 비교하여 상기 쉴드 내에 배선 변경이 있는지의 여부를 감지하는 반도체 칩
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제2항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 적어도 하나의 초퍼 어레이 각각을 상기 구성 신호 내의 미리 지정된 비트에 매칭하고, 매칭되는 비트 값의 변화에 따라 대응하는 초퍼 어레이를 이용하여 라우팅 토폴로지를 변경하는 반도체 칩
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데이터를 처리하는 프로세서;메탈 라인을 포함하며 상기 프로세서의 상부에 배치되는 쉴드;제1 링 오실레이터의 출력을 상기 쉴드의 제1 영역을 통과시켜 상기 제1 링 오실레이터 입력으로 귀환하고, 상기 제1 링 오실레이터와 동기화된 제2 링 오실레이터의 출력을 상기 쉴드의 제2 영역을 통과시켜 상기 제2 링 오실레이터 입력으로 귀환하는 링 오실레이터 블록; 및상기 제1 링 오실레이터와 상기 제2 링 오실레이터의 발진 위상을 비교하여 상기 쉴드의 전기적 프로빙이 있는지의 여부를 감지하는 감지부를 포함하는 반도체 칩
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제9항에 있어서,상기 제1 영역에서 상기 제1 링 오실레이터의 전송 경로가 병렬 다중화되고, 상기 제2 영역에서 상기 제2 링 오실레이터의 전송 경로가 병렬 다중화되는 반도체 칩
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제9항에 있어서,상기 감지부는 리셋 신호를 상기 링 오실레이터 블록으로 전달하여, 상기 제1 링 오실레이터와 상기 제2 링 오실레이터를 주기적으로 동기화하는 반도체 칩
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제11항에 있어서,상기 제1 링 오실레이터 및 상기 제2 링 오실레이터는 상기 리셋 신호에 따라 동일한 위상을 갖는 클락 신호를 생성하는 반도체 칩
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데이터를 처리하는 프로세서;메탈 라인을 포함하며 상기 프로세서의 상부에 배치되는 쉴드;상기 쉴드 내에 배선 변경이 있는지의 여부 및 상기 쉴드에 관한 전기적 프로빙이 있는지의 여부 중 적어도 하나를 감지하는 감지부; 및반도체 칩에 관한 배선 변경을 감지하는 제1 모드 및 상기 반도체 칩에 관한 마이크로 프로빙을 감지하는 제2 모드 중 어느 하나를 선택하여 선택된 모드에 상응하는 신호를 상기 감지부로 전달하는 컨트롤러를 포함하는 반도체 칩
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제13항에 있어서,상기 제1 모드가 선택된 경우에, 상기 컨트롤러는 상기 메탈 라인의 라우팅 토폴로지를 제1 상태로 구성하고, 상기 라우팅 토폴로지를 상기 제1 상태로부터 제2 상태로 변경하여 구성하고, 상기 감지부는 전달되는 레퍼런스 신호를, 상기 레퍼런스 신호가 상기 쉴드를 통과해서 출력되는 출력 신호와 비교함으로써 상기 쉴드 내에 배선 변경이 있는지의 여부를 감지하는 반도체 칩
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제14항에 있어서,상기 컨트롤러가 상기 라우팅 토폴로지를 구성하도록 하는 구성 신호(configure signal)을 제공하는 난수 생성기를 더 포함하고,상기 컨트롤러는 상기 난수 생성기가 제공하는 상기 구성 신호에 따라 상기 라우팅 토폴로지를 변경할 수 있는 적어도 하나의 초퍼 어레이를 포함하는 반도체 칩
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제13항에 있어서,제1 링 오실레이터의 출력을 상기 쉴드의 제1 영역을 통과시켜 상기 제1 링 오실레이터 입력으로 귀환하고, 상기 제1 오실레이터와 동기화된 제2 링 오실레이터의 출력을 상기 쉴드의 제2 영역을 통과시켜 상기 제2 링 오실레이터 입력으로 귀환하는 링 오실레이터 블록을 더 포함하고,상기 제2 모드가 선택된 경우에, 상기 컨트롤러는 제1 링 오실레이터 및 상기 제2 링 오실레이터 각각의 출력 신호가 상기 쉴드 내의 대응 영역을 통과하여 상기 감지부로 전달되도록 제어하는 반도체 칩
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