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시료로 레이저빔을 조사하고 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 외부 분광기(300)로 출력하는 광학부(110)가 상부 중심부에 마련되어 있으며, 상기 시료와 상기 광학부(110) 사이의 거리가 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 조절하는 샘플대 자동 조정부(120)가 상기 광학부(110) 하부에 마련되어 있는 챔버(100); 및레이저빔을 발생시켜 상기 광학부(110)를 통해 상기 시료표면으로 조사되도록 하는 레이저빔 발생기(200); 를 포함하고,상기 광학부(110)가, 상기 레이저빔 발생기(200)로부터 발생한 레이저빔을 상기 시료표면으로 집적시키는 초점렌즈(111)와, 상기 시료표면의 분광선을 집속시켜 광섬유 케이블을 통해 상기 분광기(300)로 전송하는 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템
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제 1 항에 있어서,상기 샘플대 자동 조정부(120)가,시료가 안착하는 샘플대(121)와, 상기 샘플대(121)에 위치한 샘플과 상기 초점렌즈(111) 사이의 거리를 감지하여 출력하는 거리센서(122)와, 상기 거리센서(122)에 의해 감지된 상기 샘플대(121)와 상기 초점렌즈(111) 사이의 거리가 미리 설정된 거리인지를 체크하여 상기 샘플대(121)의 위치를 조정하기 위한 위치조정 제어신호를 출력하는 컨트롤러(123)와, 상기 컨트롤러(123)의 위치조정 제어신호에 응하여 상기 샘플대(121)의 위치를 조정하는 샘플대 구동부(124),로 이루어진 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템
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제 4 항에 있어서,상기 샘플대 구동부(124)가, 상기 위치조정 제어신호에 응하여 상기 샘플대(121)를 x축, y축, z축 중 어느 한 축으로 그 위치를 이동시키는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템
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제 1 항에 있어서,상기 챔버(100)의 정면은 내부를 볼 수 있도록 투명 재질로 이루어져 있으며, 정면을 제외한 나머지 3면은 금속재질로 이루어져 측정물질의 비산을 막는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템
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컨트롤러(123)가, 샘플대(121)에 시료가 안착되고 검사실시요청이 이루어지면 거리센서(122)로부터 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리를 비교 거리로 제공받는 단계;상기 컨트롤러(123)가, 제공되는 비교 거리와 미리 설정된 기준 거리를 비교하여, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하면 초점 렌즈(111)로 레이저빔이 발생되어 집속되도록 레이저빔 발생기(200)를 제어하고, 비교 거리가 오차 범위 내에 존재하지 않으면 샘플대 구동부(124)로 위치조정 제어신호를 출력하여 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 조절하는 단계; 및상기 컨트롤러(123)가, 한 쌍의 콜리메이터렌즈(112)(113)를 통해 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 광섬유케이블을 통해 외부 분광기(300)로 전송하여 시료에 대해 검사가 이루어지도록 한 후 검사 완료 명령이 입력되면, 시료검사 모드를 종료하는 단계;를 포함하되,상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 하는, 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 제어방법
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