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(a) 서로 다른 입자 크기를 갖는 복수 개의 다이아몬드 파우더 중 하나를 선택하는 단계;(b) 상기 (a) 단계에서 선택된 다이아몬드 파우더를 이용하여 기판 상에 다이아몬드 입자를 부착하는 단계;(c) 상기 복수 개의 다이아몬드 파우더 전체가 선택될 때까지 상기 (a) 및 (b) 단계를 반복 수행한 후 그 결과 생성되는 상기 다이아몬드 입자가 부착된 복수 개의 기판 중 적어도 두 개 이상의 기판을 선택하는 단계;(d) 상기 선택된 적어도 두 개 이상의 기판을 각각 미리 결정된 시간 동안 CVD(Chemical Vapour Deposition) 처리하여 상기 각각의 기판 상에 다이아몬드 층을 형성하는 단계; 및(e) 상기 선택된 적어도 두 개 이상의 기판 각각에 형성된 다이아몬드 층에 대한 특성 검사를 수행한 후 수행 결과에 따라 하나의 기판을 선택하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보론 도핑 다이아몬드 전극 제조를 위한 최적 다이아몬드 파우더 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 (e) 단계에서,상기 특성 검사 항목은 상기 다이아몬드 층의 두께, 표면 형상, 및 표면 단차와 상기 다이아몬드 입자 크기인 것을 특징으로 하는 보론 도핑 다이아몬드 전극 제조를 위한 최적 다이아몬드 파우더 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 (b) 단계에서,상기 기판은 다결정 실리콘(poly Si) 기판인 것을 특징으로 하는 보론 도핑 다이아몬드 전극 제조를 위한 최적 다이아몬드 파우더 결정 방법
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상기 (a) 단계에 이어서,(a1) 상기 기판 표면을 경면 연마(mirror polishing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보론 도핑 다이아몬드 전극 제조를 위한 최적 다이아몬드 파우더 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 (b) 단계에 이어서,(b1) 상기 다이아몬드 입자가 접착된 기판을 세척 및 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보론 도핑 다이아몬드 전극 제조를 위한 최적 다이아몬드 파우더 결정 방법
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