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그의 내부에 형성된 음향 챔버를 갖는 기판;상기 기판 상에 배치되고, 평면적으로 상기 음향 챔버와 오버랩되는 하부 전극;상기 기판 상에 배치되고, 상기 하부 전극의 측면을 둘러싸는 제 1 절연층;상기 하부 전극 및 상기 제 1 절연층의 상부(over)에 배치되고, 평면적으로 상기 하부 전극의 전부 및 상기 제 1 절연층의 적어도 일부와 중첩되는 진동판, 상기 진동판은 그의 내부를 관통하는 배기홀을 갖고; 및상기 제 1 절연층 상에 배치되어 상기 진동판을 지지하는 복수의 지지로드들을 포함하고,상기 복수의 지지로드들은:평면적 관점에서, 상기 배기홀보다 상기 진동판의 중심에 인접한 제 1 지지로드; 및상기 배기홀보다 상기 진동판의 중심으로부터 더 멀리에 위치하는 제 2 지지로드를 포함하는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 지지로드는 복수 개로 제공되고,상기 복수 개의 제 1 지지로드들은 상기 진동판의 중심을 기준으로 환형으로 배열되는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 지지로드는 복수 개로 제공되고,상기 복수 개의 제 2 지지로드들은 상기 진동판의 중심을 기준으로 환형으로 배열되는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 지지로드들 중 적어도 하나는 상기 진동판의 중심과 상기 배기홀을 연결하는 직선에 정렬되는 음향 센서
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제 4 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 지지로드들 모두는 상기 직선을 따라 정렬되는 음향 센서
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 지지로드 및 상기 배기홀 사이의 간격은 상기 배기홀 및 상기 제 2 지지로드 사이의 간격과 동일한 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 지지로드들 모두는 상기 진동판의 중심과 상기 배기홀을 연결하는 직선에 어긋나도록 정렬되는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 진동판과 상기 제 1 및 제 2 지지로드들은 서로 동일한 물질을 포함하는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 진동판은 상기 하부 전극보다 큰 면적을 갖는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 하부 전극은 그의 내부를 관통하여 상기 음향 챔버와 연통되는 관통홀을 갖는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판과 상기 제 1 절연층 사이에 배치되는 제 2 절연층을 더 포함하되,상기 제 2 절연층은 상기 음향 챔버 상으로 연장되어 상기 하부 전극의 하면과 접하는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 진동판 외측에 배치되는 지지부를 더 포함하되,상기 지지부는 상기 진동판의 외측면으로부터 상기 기판을 향하여 연장되어 상기 제 1 절연층과 접촉하는 음향 센서
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제 1 항에 있어서,상기 음향 챔버는 상기 기판의 상면 및 하면을 연결하는 오픈 홀(open hole) 형태를 갖는 음향 센서
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