| 1 |
1
센싱 광 및 기준 광을 각각 출력하는 외부공진 레이저; 및상기 외부공진 레이저에서 출력된 상기 센싱 광과 상기 기준 광의 간섭에 의한 비팅 신호를 검출하는 광 검출기;를 포함하고, 상기 외부공진 레이저는, 센싱 대상물이 부착될 수 있는 센싱 격자 및 상기 센싱 격자와 동일 평면상에 배치되는 기준 격자를 구비하는 반사 필터를 포함하여 상기 센싱 격자에서 반사된 센싱 광 및 상기 기준 격자에서 반사된 기준 광을 각각 출력하는 것을 특징으로 하는광센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 센싱 격자 및 상기 기준 격자 각각은 공진 파장의 광을 반사하도록 구성되는 것을 특징으로 하는광센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 센싱 격자와 상기 기준 격자 각각은, 코어층 및 상기 코어층 상에 적층된 격자층을 포함하고, 상기 센싱 격자와 상기 기준 격자는 격자 특성이 서로 동일하고, 상기 격자 특성은 격자 주기, 격자층의 두께, 코어층의 두께 중 적어도 하나를 포함하는 광센서
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 외부공진 레이저는, 상기 기준 광을 출력하는 제1 채널 광원 및 상기 센싱 광을 출력하는 제2 채널 광원이 형성된 발진부를 더 포함하고,상기 발진부는 상기 광 검출기와 상기 반사 필터 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 제1 채널 광원은, 상기 제1 채널 광원에서 상기 기준 격자로 입사된 광이 공진 파장에서 상기 제1 채널 광원으로 회귀되어 상기 기준 광으로 출력되고,상기 제2 채널 광원은, 상기 제2 채널 광원에서 상기 센싱 격자로 입사된 광이 상기 센싱 격자에 부착된 센싱 대상물의 굴절률을 근거로 결정되는 반사율 피크 파장에서 상기 제2 채널 광원으로 회귀되어 상기 센싱 광으로 출력되는 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 6 |
6
제 4항에 있어서, 상기 외부공진 레이저는, 상기 발진부와 상기 반사 필터 사이에 위치하는 제1 콜리메이터를 더 포함하고, 상기 제1 콜리메이터의 광축을 따라 상기 발진부, 상기 제1 콜리메이터 및 상기 반사 필터가 정렬되는 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서, 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원은 상기 제1 콜리메이터의 광축과 나란하게 연장되는 것을 특징으로 하는 광 센서
|
| 8 |
8
제 6항에 있어서, 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원은 상기 제1 콜리메이터의 광축에 수직한 방향으로 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 광 센서
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원은 각각 상기 제1 콜리메이터의 광축으로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 광 센서
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 기준 격자는, 상기 제1 채널 광원에서 방출된 광이 상기 제1 콜리메이터에 의해 평행광으로 변환되어 입사되는 쪽에 배치되고,상기 센싱 격자는, 상기 제2 채널 광원에서 방출된 광이 상기 제1 콜리메이터에 의해 평행광으로 변환되어 입사되는 쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 11 |
11
제 4항에 있어서,상기 발진부는, 상기 제1 콜리메이터를 향한 면에 무반사 필름이 증착되고 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원이 각각 고발광 다이오드(Super luminescence diode)인 2채널의 단일 집적 레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서, 상기 광 검출기는, 상기 발진부의 상기 무반사 필름이 증착된 면의 반대면을 향해 배치되고, 상기 발진부는 상기 광 검출기를 향한 면이 반사면인 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 13 |
13
제 12항에 있어서, 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원은 각각 상기 발진부의 상기 무반사 필름이 증착된 면에서 그 반대면까지 연장되는 광센서
|
| 14 |
14
제 6항에 있어서, 상기 광 검출기와 상기 발진부 사이에 구비되는 제2 콜리메이터를 더 포함하는 광센서
|
| 15 |
15
센싱 광 및 기준 광을 각각 출력하는 외부공진 레이저; 상기 외부공진 레이저에서 출력된 상기 센싱 광과 상기 기준 광의 간섭에 의한 비팅 신호를 검출하는 광 검출기; 및 상기 외부공진 레이저와 상기 광 검출기를 광 결합하는 결합기;를 포함하고, 상기 외부공진 레이저는, 센싱 대상물이 부착될 수 있는 센싱 격자 및 상기 센싱 격자와 동일 평면상에 배치되는 기준 격자를 구비하는 반사 필터를 포함하여 상기 센싱 격자에서 반사된 센싱 광 및 상기 기준 격자에서 반사된 기준 광을 각각 출력하는 것을 특징으로 하는광센서
|
| 16 |
16
제 15항에 있어서, 상기 결합기는 상기 외부공진 레이저로부터 입력된 상기 센싱 광과 상기 기준 광을 합파하여 간섭에 의한 비팅신호를 출력하도록 구성되고, 상기 광 검출기는 상기 결합기에서 출력된 비팅 신호를 검출하는 것을 특징으로 하는 광센서
|
| 17 |
17
제 16항에 있어서, 상기 결합기는, 상기 기준 광이 입력되는 기준 광 도파로, 상기 센싱 광이 입력되는 센싱 광 도파로 및 상기 기준 광 도파로와 상기 센싱 광 도파로가 합류하여 연장되는 출력 도파로를 포함하는 Y 결합기를 포함하는 광센서
|
| 18 |
18
제 17항에 있어서, 상기 결합기는, 상기 기준 광 도파로의 입력단과 상기 센싱 광 도파로의 입력단에 각각 결합되는 회절 반사 격자(Distributed Bragg Reflector)를 더 포함하는 광센서
|
| 19 |
19
제 17항에 있어서, 상기 외부공진 레이저는, 상기 기준 광을 출력하는 제1 채널 광원 및 상기 센싱 광을 출력하는 제2 채널 광원이 형성된 발진부를 더 포함하고,상기 발진부는 상기 광 검출기와 상기 반사 필터 사이에 위치하고, 상기 제1 채널 광원은 상기 기준 광 도파로와 광 결합되고, 상기 제2 채널 광원은 상기 센싱 광 도파로와 광 결합되는 것을 특징으로 하는광센서
|
| 20 |
20
제 19항에 있어서, 상기 외부공진 레이저는, 상기 발진부와 상기 반사 필터 사이에 위치하는 제1 콜리메이터를 더 포함하고, 상기 제1 콜리메이터의 광축을 따라 상기 발진부, 상기 제1 콜리메이터 및 상기 반사 필터가 정렬되고, 상기 제1 콜리메이터의 광축을 따라 상기 출력 도파로가 연장되고, 상기 제1 채널 광원과 상기 제2 채널 광원 각각은 상기 제1 콜리메이터의 광축과 나란하게 연장되고 상기 제1 콜리메이터의 광축으로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 광센서
|
