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투명기판의 제조방법 및 이를 이용한 표면증강 라만산란 기판의 제조방법(Fabrication Method of Transparent Substrate and Fabrication Method of Surface Enhanced Raman Scattering Substrates using Thereof)

  • 기술번호 : KST2017013937
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 기판의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게, 본 발명에 따른 제조방법은 a) 기판 상 D=m*(λ/2n) (D= 포토레지스트 막의 두께, n=포토레지스트의 굴절률, λ=노광시 조사되는 광의 파장, m= 1 이상의 자연수)을 만족하는 포토레지스트 막을 형성하는 단계; b) 투명 기재 및 투명 기재의 광의 출사면에 접하여 형성된 평판형 금속 닷(plate-type metal dot)을 포함하는 광 마스크를 이용하여, 포토레지스트 막을 노광하고, 노광된 포토레지스트 막을 현상하여, 고리 형상의 패턴을 제조하는 단계; c) 상기 고리 형상의 패턴이 형성된 기판을 제1몰드로 하여 상기 고리 형상의 패턴이 역전사된 제2몰드를 제조하는 단계; 및 d) 상기 제2몰드에 액상의 투명 수지를 충진 및 경화한 후 상기 제2몰드를 제거하여, 상기 고리 형상의 패턴이 전사되어 고리 형상의 투명 돌출부가 투명 기재와 일체로 형성된 투명 기판을 제조하는 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2017.08.25) H01L 21/56 (2017.08.25) H01L 21/033 (2017.08.25)
CPC
출원번호/일자 1020170104491 (2017.08.18)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0098767 (2017.08.30) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0135434 (2015.09.24)
관련 출원번호 1020150135434
심사청구여부/일자 Y (2017.08.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유은아 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0795953-00
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0786421-68
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0038544-74
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0131599-89
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0131952-04
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0388379-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0573757-41
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0573769-99
9 등록결정서
Decision to grant
2018.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0529233-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
투명 판 형상의 투명 기재 및 상기 투명 기재 상, 상기 투명 기재와 일체인 고리 형상의 투명 돌출부가 서로 이격 배열된 어레이를 포함하며, 상기 투명 기재 및 투명 돌출부는 0
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 어레이의 투명 돌출부는 고리 내부에 동일한 수의 금속 나노입자가 위치하는 표면증강 라만산란용 기판
4 4
제 1항에 있어서,상기 투명 돌출부의 고리 내부에 위치하는 금속 나노입자의 수는 2 내지 6개인 표면증강 라만산란용 기판
5 5
제 1항에 있어서,상기 금속 나노입자의 표면에는 검출대상물질과 특이적으로 결합하는 수용체가 형성된 표면증강 라만산란용 기판
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101777852 KR 대한민국 FAMILY
2 US10222695 US 미국 FAMILY
3 US20180188646 US 미국 FAMILY
4 WO2017051957 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 연구운영비 지원 나노바이오융합 측정기술개발