1 |
1
기재 상에 도전성을 가지는 기능화제를 포함하는 불소계고분자 복합타겟을 이용하여 반응가스 주입하에서 반응성 스퍼터링 공정을 수행하는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 반응가스는 산소, 오존, 과산화수소, 암모니아, 아산화질소, 일산화질소, 이산화질소, 질소, 사불화탄소 및 하이드라진에서 선택되는 하나 이상인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 반응가스는 아르곤, 헬륨 및 네온, 질소에서 선택되는 하나 이상의 공정가스와 함께 주입되는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 공정가스와 반응가스의 혼합비(공정가스:반응가스)는 1:1 내지 1000:1 인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 탄화불소 박막은 RF, MF 또는 DC 전원방식으로 스퍼터링되는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 탄화불소 박막은 MF 또는 DC 전원방식으로 스퍼터링되는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 기능화제는 전도성입자, 전도성 고분자 및 금속성분에서 선택되는 하나 이상인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
8 |
8
제 1항에 있어서, 상기 불소계고분자 복합타겟은 금속화합물을 더 포함하는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
9 |
9
기재를 롤투롤 방식으로 이송시키면서, 도전성을 가지는 기능화제를 포함하는 불소계고분자 복합타겟을 이용하여 MF 또는 DC 전원방식으로 스퍼터링시, 공정가스와 반응가스를 동시에 주입하여 반응성 스퍼터링 공정을 수행하는 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 반응가스는 산소, 오존, 과산화수소, 암모니아, 아산화질소, 일산화질소, 이산화질소, 질소, 사불화탄소 및 하이드라진에서 선택되는 하나 이상이고, 상기 공정가스는 아르곤, 헬륨, 네온 및 질소에서 선택되는 하나 이상인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
11 |
11
제 9항에 있어서, 상기 기재는 10 ㎝/min 내지 5 m/min의 속도로 롤투롤 방식으로 이송되는 것인 발수 발유 코팅막의 제조방법
|
12 |
12
반응가스 주입하에서 도전성을 가지는 기능화제를 포함하는 불소계고분자 복합타겟을 이용하여 기재상에 반응성 스퍼터링된 발수 발유 코팅막
|
13 |
13
제 12항에 있어서,상기 발수 발유 코팅막은 헥사데칸과의 접촉각이 50°이상인 발수 발유 코팅막
|
14 |
14
제 12항에 있어서, 상기 발수 발유 코팅막은 물과의 접촉각이 100 내지 150°범위인 발수 발유 코팅막
|