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사파이어 웨이퍼를 세라믹 디스크에 본딩하는 단계;상기 세라믹 디스크를 연마용 진공척에 배치하여 흡착 고정하는 단계;플랫 어라이너로 사파이어 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 단계;사파이어 웨이퍼의 상면으로 X-선을 조사하고, 반사되는 X-선을 수광하여 사파이어 웨이퍼의 방위각을 측정하는 단계;방위각이 틀어진 경우이면 연마용 진공척을 기울이는 구동부로 사파이어 웨이퍼의 방위각을 조절하는 단계;연마기기의 다이아몬드 휠을 3단계 하강속도로 하강시켜 사파이어 웨이퍼의 상면을 연마하는 단계 및상기 사파이어 웨이퍼를 세정하고, 사파이어 웨이퍼의 평탄도를 평탄도 측정기로 측정하는 단계를 포함하는 사파이어 웨이퍼를 연마하는 방법
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제1항에 있어서,상기 다이아몬드 휠은 100um 이상의 에어커트로 설정되는 것을 특징으로 하는 사파이어 웨이퍼를 연마하는 방법
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제1항에 있어서,상기 평탄도 측정기는 상기 사파이어 웨이퍼의 상면에 대하여 평행한 방향으로 광을 조사하는 발광부 및 상기 발광부에서 조사된 광을 수광하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 사파이어 웨이퍼를 연마하는 방법
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제1항에 있어서,상기 사파이어 웨이퍼를 세라믹 디스크에 본딩하기 전에 사파이어 웨이퍼의 하면과 PET 필름 사이에 형성된 UV 경화수지를 UV 마운팅하는 단계를 더 포함하는 사파이어 웨이퍼를 연마하는 방법
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제1항에 있어서,상기 사파이어 웨이퍼의 뒷면이 연마되도록 뒤집고, 상기 사파이어 웨이퍼의 앞면과 동일한 조건으로 연마하여 평탄화하는 단계를 더 포함하는 사파이어 웨이퍼를 연마하는 방법
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