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그의 내부에 캐비티를 갖는 기판, 상기 캐비티는 상기 기판의 상면으로부터 하면을 향하여 연장되고;상기 기판 내에 배치되고, 상기 캐비티를 둘러싸는 격벽, 상기 격벽은 상기 캐비티에 의해 노출되는 내측벽을 갖고;상기 기판의 상기 상면 상에 배치되고, 상기 캐비티를 덮는 기판 절연층;상기 기판 절연층 상에 배치되는 감지부, 상기 감지부의 적어도 일부는 평면적으로 상기 캐비티와 중첩되고; 및상기 기판 절연층 상에 배치되어 상기 감지부를 덮는 봉지층을 포함하는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판 절연층은 상기 격벽과 연결되어 일체를 이루는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 격벽은 상기 캐비티의 바닥면보다 낮은 바닥면을 갖는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 감지부는 저항체를 포함하는 압력 센서
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제 4 항에 있어서,상기 감지부는 복수 개로 제공되고,상기 복수 개의 감지부들은 상기 기판 절연층 상면과 접하며 상기 캐비티의 둘레를 따라 배치되는 제 1 내지 제 4 저항체들을 포함하고,상기 제 1 및 제 3 저항체들은 제 1 방향으로 서로 마주하고, 상기 제 2 및 제 4 저항체들은 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 서로 마주하되,상기 제 1 및 제 3 저항체들은 감지 저항이고, 상기 제 2 및 제 4 저항체들은 기준 저항인 압력 센서
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제 4 항에 있어서,상기 기판 절연층과 상기 봉지층 사이에 배치되고, 상기 감지부를 덮는 보호막을 더 포함하되,상기 봉지층은, 상기 캐비티 상에서 상기 기판 절연층 및 상기 보호막을 관통하는 관통홀 내로 연장되는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 감지부는:상기 기판 절연층 상에 배치되는 기준 전극; 및상기 기준 전극으로부터 이격되어 상기 기준 전극의 상(over)에 배치되고, 상기 기준 전극과 전기적으로 절연되는 감지 전극을 포함하되,상기 캐비티 상에서, 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이에 갭 영역이 형성되는 압력 센서
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제 7 항에 있어서,상기 갭 영역은 상기 기판 절연층 및 상기 기준 전극을 관통하는 제 1 관통홀을 통해 상기 캐비티와 연결되고,상기 봉지층은, 상기 캐비티 상에서 상기 감지 전극을 관통하는 제 2 관통홀 내로 연장하는 압력 센서
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제 8 항에 있어서,상기 제 1 관통홀은 상기 제 2 관통홀보다 큰 직경을 갖는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 격벽은 평면적으로 원형의 고리, 타원형의 고리 또는 3각형 이상을 포함하는 다각형의 고리 형상을 갖는 압력 센서
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기판을 식각하여 평면적으로 폐루프를 갖는 트렌치를 형성하는 것;상기 트렌치를 채우며 상기 기판의 상면을 덮는 절연막을 형성하는 것;상기 절연막 상에 감지부를 형성하는 것;상기 기판 내에 캐비티를 형성하는 것; 및상기 캐비티가 형성된 상기 기판 상에 상기 감지부를 덮는 봉지층을 형성하는 것을 포함하고,상기 트렌치 내의 상기 절연막의 일부는 격벽으로 정의되되, 상기 기판 내에 캐비티를 형성하는 것은 상기 격벽에 의해 둘러싸인 상기 기판의 일부를 제거하는 것을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 기판의 상기 상면을 덮는 상기 절연막의 다른 일부는 기판 절연층으로 정의되되,상기 감지부를 형성하는 것은:상기 기판 절연층 상에 압저항 물질을 증착하는 것; 및상기 증착된 압저항 물질을 패터닝하여 저항체를 형성하는 것을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 캐비티의 형성 전에,상기 기판 절연층 상에 상기 감지부를 덮는 보호막을 형성하는 것; 및상기 기판 절연층 및 상기 보호막을 식각하여 상기 기판의 상기 일부를 노출하는 관통홀을 형성하는 것을 더 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 기판의 상기 상면을 덮는 상기 절연막의 다른 일부는 기판 절연층으로 정의되되,상기 감지부를 형성하는 것은:상기 기판 절연층 상에 기준 전극을 형성하는 것;상기 기준 전극 및 상기 기판 절연층을 식각하여 상기 기판의 상기 일부를 노출하는 제 1 관통홀을 형성하는 것;상기 기준 전극 상에 상기 제 1 관통을 채우는 희생층을 형성하는 것;상기 희생층을 덮는 감지 전극을 형성하는 것;상기 감지 전극을 관통하여 상기 희생층을 노출하는 제 2 관통홀을 형성하는 것; 및상기 제 2 관통홀을 통해 상기 희생층을 제거하는 것을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 기판의 일부를 제거하는 것은 습식 식각 공정을 이용하는 것을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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