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전기 용량 브리지의 커패시턴스비를 측정하기 위한 제 1 캘리브레이션 모듈;상기 전기 용량 브리지의 손실 계수를 측정하기 위한 제 2 캘리브레이션 모듈;상기 전기 용량 브리지의 접지단에 일단이 연결되고, 동작 전압을 제공하는 제공하는 전원부; 및상기 전기 용량 브리지에 상기 제 1 캘리브레이션 모듈과 상기 제 2 캘리브레이션 모듈 중 하나를 연결하기 위한 스위치부를 포함하고,상기 제 1 캘리브레이션 모듈은상기 전기 용량 브리지의 제 1 윈도우(Nx)에 일단이 상기 스위치부를 통해 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 테스트 커패시터부; 및상기 전기 용량 브리지의 제 2 윈도우(Ns)에 일단이 상기 스위치부를 통해 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 기준 커패시터부를 포함하고,상기 테스트 커패시터부는제 1 테스트 노드와 제 2 테스트 노드 중 하나를 상기 전원부로 연결하기 위한 제 1 선택 스위치;제 3 테스트 노드와 제 4 테스트 노드 중 하나를 상기 제 1 윈도우로 연결하기 위한 제 2 선택 스위치;10마이크로 패럿의 용량을 갖고, 일단이 상기 제 1 테스트 노드에 연결되는 10개의 제 1 테스트 커패시터들;상기 제 1 테스트 커패시터들 각각의 다른 일단에 연결되고, 온 동작을 통해 상기 제 3 테스트 노드에 연결되는 10개의 제 1 테스트 스위치들;100나노 패럿의 용량을 갖고, 일단이 상기 제 2 테스트 노드에 연결되는 10개의 제 2 테스트 커패시터들; 및상기 제 2 테스트 커패시터들 각각의 다른 일단에 연결되고, 온 동작을 통해 상기 제 4 테스트 노드에 연결되는 10개의 제 2 테스트 스위치들을 포함하고,상기 기준 커패시터부는100나노 패럿의 용량을 갖고, 일단이 전원부에 연결되는 제 1 기준 커패시터;상기 제 1 기준 커패시터의 다른 일단에 연결되고, 온 동작을 통해 상기 제 2 윈도우에 연결되는 제 1 기준 스위치;10나노 패럿의 용량을 갖고, 일단이 전원부에 연결되는 제 2 기준 커패시터; 및상기 제 2 기준 커패시터의 다른 일단에 연결되고, 온 동작을 통해 상기 제 2 윈도우에 연결되는 제 2 기준 스위치를 포함하고,상기 1 캘리브레이션 모듈은 상기 스위치부를 통해 상기 전기 용량 브리지에 연결되면,상기 제 1 기준 스위치의 온 동작과 상기 제 1 테스트 스위치들의 선택적인 온 동작에 의해 20대1부터 100대1까지의 비율을 갖는 커패시턴스 비를 측정하고,상기 제 1 기준 스위치의 온 동작과 상기 제 2 테스트 스위치들의 선택적인 온 동작에 의해 1대1부터 10대1까지의 비율을 갖는 커패시턴스 비를 측정하고,상기 제 2 기준 스위치의 온 동작과 상기 제 1 테스트 스위치들의 선택적인 온 동작에 의해 200대1부터 1000대1까지의 비율을 갖는 커패시턴스 비를 측정하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 캘리브레이션 모듈은 상기 전기 용량 브리지의 제 1 윈도우(Nx)에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 가변 커패시터부; 상기 전원부, 상기 제 1 윈도우, 및 상기 전원부와 상기 전기 용량 브리지의 접지단 사이의 접점에 연결되고, 가변되는 레지스턴스를 갖는 티 레지스터 네트워크부; 및상기 전기 용량 브리지의 제 2 윈도우(Ns)에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 기준 커패시터부를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 6 항에 있어서,상기 가변 커패시터부는10나노 패럿의 용량을 갖고, 상기 제 1 윈도우에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 커패시터; 및100피코패럿 내지 150피코패럿 사이의 값으로 가변되는 용량을 갖고, 상기 제 1 윈도우에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 가변 커패시터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 7 항에 있어서,상기 티 레지스터 네트워크부는상기 전원부에 일단이 연결된 제 1 레지스터;상기 제 1 레지스터의 다른 일단에 연결되고, 상기 전원부와 상기 전기 용량 브리지의 접지단 사이의 접점에 연결되는 제 2 레지스터; 및상기 제 1 레지스터와 상기 제 2 레지스터 사이에 일단이 연결되고, 다른 일단이 상기 제 1 윈도우에 연결되는 가변 레지스터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 8 항에 있어서,상기 기준 커패시터부는10나노 패럿의 용량을 갖고, 상기 전원부에 일단이 연결되고, 상기 제 2 윈도우에 일단이 연결되는 제 1 기준 커패시터; 및100피코 패럿의 용량을 갖고, 상기 전원부에 일단이 연결되고, 상기 제 2 윈도우에 일단이 연결되는 제 2 기준 커패시터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 캘리브레이션 모듈은 상기 가변 레지스터의 레지스턴스 변화를 통해 1 x 10-4 부터 1 x 10-1까지의 포지티브 극성을 갖는 손실 계수를 캘리브레이션하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 캘리브레이션 모듈은 상기 전기 용량 브리지의 제 2 윈도우(Ns)에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 가변 커패시터부; 상기 전원부, 상기 제 2 윈도우, 및 상기 전원부와 상기 전기 용량 브리지의 접지단 사이의 접점에 연결되고, 가변되는 레지스턴스를 갖는 티 레지스터 네트워크부; 및상기 전기 용량 브리지의 제 1 윈도우(Nx)에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 기준 커패시터부를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 11 항에 있어서,상기 가변 커패시터부는10나노 패럿의 용량을 갖고, 상기 제 2 윈도우에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 커패시터; 및100피코패럿 내지 150피코패럿 사이의 값으로 가변되는 용량을 갖고, 상기 제 2 윈도우에 일단이 연결되고, 상기 전원부에 다른 일단이 연결된 가변 커패시터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 12 항에 있어서,상기 티 레지스터 네트워크부는상기 전원부에 일단이 연결된 제 1 레지스터;상기 제 1 레지스터의 다른 일단에 연결되고, 상기 전원부와 상기 전기 용량 브리지의 접지단 사이의 접점에 연결되는 제 2 레지스터; 및상기 제 1 레지스터와 상기 제 2 레지스터 사이에 일단이 연결되고, 다른 일단이 상기 제 2 윈도우에 연결되는 가변 레지스터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 13 항에 있어서,상기 기준 커패시터부는10나노 패럿의 용량을 갖고, 상기 전원부에 일단이 연결되고, 상기 제 1 윈도우에 일단이 연결되는 제 1 기준 커패시터; 및100피코 패럿의 용량을 갖고, 상기 전원부에 일단이 연결되고, 상기 제 1 윈도우에 일단이 연결되는 제 2 기준 커패시터를 포함하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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제 14 항에 있어서,상기 제 2 캘리브레이션 모듈은 상기 가변 레지스터의 레지스턴스 변화를 통해 1 x 10-4 부터 1 x 10-1까지의 네거티브 극성을 갖는 손실 계수를 캘리브레이션하는 커패시터 레지스터 뱅크 장치
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