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마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치(NANOSTRUCTURE FORMING DEVICE BY USING MICROWAVE)

  • 기술번호 : KST2017014223
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 종래 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치에 용액 공정 요소를 도입하여, 용액 공정을 통한 나노 구조체 형성시 형성 용액의 농도 및 공정 조건을 일관되게 유지하면서 마이크로웨이브를 이용하여 나노 구조체를 안정적으로 제조할 수 있는 새로운 구조의 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2017.02.25) H01L 21/208 (2017.02.25) H01L 21/67 (2017.02.25)
CPC
출원번호/일자 1020170024228 (2017.02.23)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0099780 (2017.09.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160022143   |   2016.02.24
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 대한민국 부산광역시 연제구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태선 대한민국 서울(해산으로 인한 퇴사 후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 경남 김해시 인제로 *
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0189041-83
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0342554-75
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0716992-29
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0821194-42
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0830681-87
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0830683-78
9 등록결정서
Decision to grant
2018.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0850377-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
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번호 청구항
1 1
챔버;상기 챔버 내부에 장착되는 마이크로웨이브 발생장치;상기 챔버 내부에 수용되는 반응 용액을 담지하고, 기판을 포함하는 반응 용기부;상기 챔버 외부에 배치된 반응 용액 저장부;상기 반응 용액 저장부로부터 상기 챔버 내부의 반응 용기부로 상기 반응 용액을 순환시키는 반응 용액 순환부; 및상기 반응 용액 순환부는 상기 챔버의 외부에 연결되는 반응 용액 주입부관 및 반응 용액 유출부관을 포함하고, 상기 반응 용액 주입부관 및 반응 용액 유출부관은 2중관으로 구성되고,상기 2중관은 내부관과 금속으로된 외부관으로 구성된 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 반응 용액 순환부는 구동 펌프를 더 포함하는 것인마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 반응 용기부는 분리 및 조립이 가능한 상태로 순차적으로 적층되는 상부 반응용기; 기판; 및 하부 반응용기; 를 포함하고, 상기 상부 반응용기 하부에서 기판과 접하는 부분에 탄성체부가 포함되는 것인 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 상부 반응용기는 반응 용액을 수용할 수 있도록 수직 방향의 높이를 갖는 수직부; 및 상기 수직부 상부에 형성되는 테이퍼 형상(taper)을 갖는 경사부를 포함하는 것인마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 반응 용기부가 챔버 내에 복수개 포함되는 것인 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 복수개의 반응 용기부 사이의 반응 용액을 순환시키기 위한 내부 반응 용액 순환부를 더 포함하는 것인 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 챔버 외부에 마이크로웨이브 공급부 및 온도 제어부를 포함하는 것인 마이크로웨이브를 이용한 나노 구조체 형성 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20190048471 US 미국 FAMILY
2 WO2017146499 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2019048471 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2017146499 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인제대학교 산학협력단 일반연구자지원사업 저온 일정 용액 주입 공정법을 이용한 그래핀 투명 전극 기반 유연 하이브리드 다차원 나노결정 태양전지 특성 연구