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지지기판 상에 서로 다른 식각 선택성을 갖는 제 1 공중합체 패턴들 및 상기 제 1 공중합체 패턴들 사이에 제공되는 제 2 공중합체 패턴을 형성하는 것;상기 제 1 공중합체 패턴들을 제거하여, 상기 제 2 공중합체 패턴의 측벽들을 노출시키는 갭들을 형성하는 것;상기 갭들 아래에 제공되는 상기 지지기판의 일부분들을 상에 제 1 금속 패턴들 및 상기 제 2 공중합체 패턴의 상부면 상에 제 2 금속 패턴을 형성하는 것; 및상기 제 2 공중합체 패턴을 제거하여, 상기 지지기판으로부터 상기 제 2 금속 패턴을 분리시키고, 상기 지지기판 상에 상기 제 1 금속 패턴들이 잔존하는 것을 포함하는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 지지기판 상에 상기 제 1 공중합체 패턴들 및 상기 제 2 공중합체 패턴을 형성하는 것은: 서로 다른 중합체들이 결합된 블록 공중합체막을 상기 지지기판 상에 도포하는 것; 및상기 블록 공중합체막에 온도, 전기장, 및/또는 자기장을 가하여 상기 제 1 공중합체 패턴들 및 상기 제 2 공중합체 패턴으로 자기조립되는 것을 포함하는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속 패턴들이 형성된 상기 지지기판 상에 제 1 투명전극을 형성하는 것;상기 제 1 투명 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 것; 및상기 유기 발광층 상에 전극을 형성하는 것을 더 포함하는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 공중합체 패턴들 및 제 2 공중합체 패턴을 형성하기 전에, 상기 지지기판 상에 제 2 투명전극을 형성하는 것을 더 포함하는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 공중합체 패턴을 제거하여 상기 지지기판으로부터 상기 제 2 금속 패턴을 분리하는 것은 상기 제 2 공중합체 패턴의 상기 측벽들에 식각용액을 제공하는 것을 포함하는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속 패턴들은 상기 갭들의 폭들과 동일한 폭을 갖고, 상기 제 2 공중합체 패턴의 두께보다 낮은 두께를 갖는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속 패턴들은 10nm 내지 100nm의 크기를 갖는 나노 금속 패턴을 포함하는 유기 발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속 패턴들은 불규칙한 형태를 갖는 유기 발광소자의 제조 방법
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