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RF 제너레이터에서 생성된 고주파 파워를 가속관으로 전달하는 RF 파워 커플러를 포함하는 고주파 파워 딜리버리 시스템에 있어서,상기 RF 파워 커플러는 RF 윈도우, 기둥부, 상부 슬롯으로 구성되며,상기 RF 윈도우는 상기 RF 제너레이터에서 생성된 고주파 파워를 입력받아, 상기 기둥부로 전달하고, 상기 기둥부는 외부 단면이 원형이며, 중공이 중앙에 형성되고, 상기 중공을 통해 상기 RF 윈도우로부터 상기 고주파 파워를 전달받고, 상기 고주파 파워를 상기 상부 슬롯으로 전달하며,상기 상부 슬롯은 상기 기둥부 하단에 배치되고, 상기 기둥부의 하부의 중공 단면과 동일한 형상이고,상기 가속관은 상부에 하부 슬롯과 상기 기둥부가 삽입될 수 있는 원형의 돌출부가 형성되며,상기 하부 슬롯은 상기 상부 슬롯으로부터 상기 고주파 파워를 입력받고,상기 기둥부는 상기 돌출부에 끼워져 회전하며, 상기 상부 슬롯과 상기 하부 슬롯이 교차되는 면적이 변하면서, 상기 RF 파워 커플러의 결합계수를 조절하여,상기 가속관에서 반사되는 고주파 파워를 최소화하는 것을 특징으로 하는 고주파 파워 딜리버리 시스템
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