맞춤기술찾기

이전대상기술

대면적 표면파 플라즈마 장치 및 이를 이용하여 전기전도성 다이아몬드 코팅방법(Large scale Surface Wave Plasma Device and Conductive Diamond Coating using the Device)

  • 기술번호 : KST2017014333
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 복수 개의 슬롯 안테나를 포함하고, 일단에 제1마이크로파 전원이 연결된 제1 도파관, 복수 개의 슬롯 안테나를 포함하여, 상기 제1도파관과 나란하게 배치되고, 상기 제1 도파관의 일단의 반대측에 해당하는 타단에 제2마이크로파 전원이 연결된 제2도파관, 상기 복수의 슬롯 안테나로부터 방사된 마이크로파를 챔버 내에 도입하여 표면파 플라즈마를 생성하기 위한 유전체판 및 상기 챔버 내에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하는 표면파 플라즈마 장치를 제공하여, 대면적에서도 플라즈마 영역의 균일성을 확보할 수 있어 초경량 난삭 CFRP 복합재료의 고정도·고효율 절삭가공을 위한 대면적 전기전도성 다이아몬드 코팅장치를 제공할 수 있다.
Int. CL C23C 16/511 (2016.04.15) C23C 16/27 (2016.04.15)
CPC C23C 16/511(2013.01) C23C 16/511(2013.01) C23C 16/511(2013.01)
출원번호/일자 1020160023983 (2016.02.29)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0101452 (2017.09.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.29)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김태규 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종석 대한민국 부산광역시 해운대구 센텀중앙로 ** 우동, 에이스하이테크** **층 ****호(브릿지특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0195250-70
2 보정요구서
Request for Amendment
2016.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0034807-18
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0221696-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0001205-75
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0167785-64
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0438872-71
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0439191-65
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0539328-46
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0539371-00
13 등록결정서
Decision to grant
2017.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0622524-61
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공펌프가 연결되어 있으며 일단에 제1마이크로파 전원이 연결된 제1도파관;복수개로 상기 제1도파관 내부에 마련되며 상기 제1도파관의 끝에서 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 가변 플런저를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면파 플라즈마 장치
9 9
제1항 및 제8항 중 어느 한 항의 표면파 플라즈마 장치를 이용하여 기판에 화학적 기상 증착이 이루어지는 전기전도성 다이아몬드 코팅방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 가스 공급부를 통해 공급되는 가스는 CH4, 및 B2H6인 것을 특징으로 하는 전기전도성 다이아몬드 코팅방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 밀양캠퍼스 기술료지원사업 [RCMS]초경량 난삭재 정밀가공용 전기전도성 다이아몬드 코팅장치 및 응용기술 개발