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그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법(Control method of preferred orientation of Mo and CIGS thin film using a graphene coating)

  • 기술번호 : KST2017014361
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 유리기판, Mo 후면전극 및 CIGS계 박막을 포함하는 태양전지의 제조 방법에 있어서, Mo 후면전극 및 CIGS계 박막을 바람직한 결정 배향으로 제어하면서 제조할 수 있는 신규한 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Int. CL H01L 31/0749 (2016.04.03) H01L 31/0392 (2016.04.03) H01L 31/0224 (2016.04.03) H01L 31/0236 (2016.04.03) H01L 31/18 (2016.04.03)
CPC H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01)
출원번호/일자 1020160023187 (2016.02.26)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0100833 (2017.09.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김우경 대한민국 대구광역시 수성구
2 유희산 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김윤보 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 ** ***호(구로동, 삼성아이티밸리)(특허법인현)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0190579-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0133655-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0742162-83
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-1185560-63
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0022114-02
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0149089-36
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0250216-97
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0038231-47
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0370386-10
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0370387-66
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0593091-12
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.10.19 무효 (Invalidation) 1-1-2017-1029730-48
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-1029729-02
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1048917-79
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-1048916-23
17 보정요구서
Request for Amendment
2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0154783-15
18 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2017.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-1077932-23
19 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2017.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0157087-71
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0196047-02
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유리기판 위에 그래핀층을 형성하는 단계; 상기 그래핀층 위에 Mo 후면전극을 형성하는 단계; 상기 Mo 후면전극 위에 CIGS계 전구체층을 형성하는 단계; 및 Se 또는 S가 공급되는 분위기 하에서 상기 CIGS계 전구체층을 셀렌화 또는 설퍼화하는 단계를 포함하여 이루어지는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
2 2
제1항에서, 상기 Mo 후면전극은 (110) 결정면 우선배향이 이루어지며, CIGS계 박막은 (220) 결정면 우선배향이 이루어지는 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
3 3
제1항에서, 상기 CIGS계 박막은 CIS, CIGS 또는 CIGSS인 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
4 4
제1항에서, 상기 Mo 후면전극은 상기 그래핀층 위에 스퍼터링에 의해 형성되되, 스퍼터링 파워를 증가시킴으로써 Mo 후면전극의 (110) 결정면 배향을 증가시키는 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
5 5
제1항 또는 제4항에서, 상기 Mo 후면전극은 상기 그래핀층 위에 스퍼터링에 의해 형성되되, 스퍼터링 시의 공정압력을 감소함으로써 Mo 후면전극의 (110) 결정면 배향을 증가시키는 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
6 6
제1항에서, 상기 그래핀층은 유리 전극 위에 습식그래핀전사공정(simple wet-based graphene tranfer process)를 통해 형성되는 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
7 7
제1항에서, 상기 그래핀층은 2층(double layer)인 것을 특징으로 하는, 그래핀층을 이용한 Mo 후면전극 및 CIGS계 박막의 결정 제어 방법
8 8
유리기판 위에 그래핀층을 형성하는 단계; 상기 그래핀층 위에 Mo 후면전극을 형성하는 단계; 상기 Mo 후면전극 위에 CIGS계 전구체층을 형성하는 단계; Se 또는 S가 공급되는 분위기 하에서 상기 CIGS계 전구체층을 셀렌화 또는 설퍼화하는 단계; 버퍼층 형성단계; 및 상부전극 형성 단계를 포함하여 이루어는 것을 특징으로 하는 CIGS계 태양전지 제조 방법
9 9
제8항의 방법으로 제조된 유리기판/그래핀층/Mo 후면전극/CIGS계 박막/버퍼층/상부전극을 포함하는 CIGS계 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 영남대학교 이공분야기초연구사업 나노바이오 기반 지속가능 청정 IT·에너지 소재공정 개발