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초소형 전자칼럼용 배선 커넥터(CONNECTOR FOR INSTALLATION OF A MICRO COLUMN)

  • 기술번호 : KST2017014477
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자 칼럼을 진공 장비에 설치할 때 사용하는 배선 커넥터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자칼럼이 사용되는 진공 챔버에서 외부 배선을 위한 피드스루(feedthrough)와 전자칼럼을 배선 연결하며 고정하기 위한 커넥터에 관한 것이다.상기 컨넥터는 전자칼럼과 소켓 방식으로 연결되는 고정부, 그리고 플렉서블 배선, 및 탄성체를 기본 구성요소로 하여 구성된다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H01J 37/18 (2006.01.01) H01J 37/147 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32577(2013.01) H01J 37/32577(2013.01) H01J 37/32577(2013.01) H01J 37/32577(2013.01) H01J 37/32577(2013.01)
출원번호/일자 1020160023759 (2016.02.26)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1775985-0000 (2017.09.01)
공개번호/일자 10-2017-0101377 (2017.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20170908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 오태식 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 김대욱 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 안승준 대한민국 대전광역시 서구
5 김형우 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0193853-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0056329-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0264239-55
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0561052-12
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0561053-57
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0595046-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
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번호 청구항
1 1
진공챔버에서 전기배선을 위하여 사용되는 피드스루와 전자칼럼을 연결하기 위한 커넥터에 있어서,일면에는 전자칼럼으로부터 나오는 전기배선과 연결되는 연결단자를 구비하고 반대면에는 피드스루측의 전기배선과 연결되는 연결단자를 구비하여 전자칼럼과 피드스루측의 전기적 연결 및 기구적 결합이 되도록 하는 고정부,일면에는 상기 고정부로부터 나오는 전기배선과 연결되는 연결단자를 구비하고 반대면에는 피드스루의 핀들과 연결되는 연결단자를 구비하고 그리고 피드스루측에 대칭되도록 더 배치된 제2고정부, 상기 고정부의 피드스루측 연결단자 및 상기 제2고정부사이에 연결되어 피드스루로 전기적 연결이 가능하도록 하는 플렉서블 배선, 및일측은 상기 고정부와 다른측은 상기 제2고정부에 배치되는 탄성체,를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼용 배선 커넥터
2 2
제1항에 있어서,상기 고정부는 테프론 또는 세라믹 재질이며, 상기 탄성체는 코일 스프링으로 길이가 줄어들 수 있도록 구성되며, 상기 탄성체는 하며 속이 빈 중공형태의 압축 코일 스프링이며, 그리고 상기 플렉서블 배선은 피복된 구리선이나 진공하에서 사용가능한 피복된 전선으로 상기 고정부에서 피드스루간의 높이변화에 따라 길이가 변할 수 있는 것,을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼용 배선 커넥터
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 탄성체는 두 고정부 사이에 길이가 가변되도록 착탈이 가능하게 결합되며, 그리고상기 플렉서블 배선도 상기 두 고정부 사이에서 길이가 가변되도록 전기적 배선이 이루어지는 것,을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼용 배선 커넥터
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1 WO2017146553 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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1 산업통산자원부 선문대학교산학협력단 산업원천기술개발사업 EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사기술개발