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피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 흡수하여 거리를 측정하는 3차원 TOF(Time Of Flight) 거리 센서에 있어서,상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환하는 단파장 변환층;상기 단파장 변환층에서 변환된 가시광선 영역의 광원을 흡수하는 흡수층; 및상기 흡수층의 가시광선 영역의 광원에서 광전 변환 신호를 추출하며 각각 이격하여 형성되는 제 1 게이트와 제 2 게이트를 포함하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 1 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,업컨버전(upconversion) 물질을 이용하여 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환함으로써, 상기 흡수층에서 광원 흡수 감도가 향상되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 1 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,상기 흡수층 상부에 적층되고, 상기 제 1 게이트와 제 2 게이트는 상기 단파장 변환층 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 1 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,상기 흡수층 상부에 형성된 상기 제 1 게이트와 제 2 게이트를 감싸도록 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 TOF 거리 센서는,층간 절연막으로 사용되는 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 5 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,상기 흡수층 상부에 형성된 제 1 게이트와 제 2 게이트를 감싸도록 하여 형성되는 상기 절연층의 내측에 삽입되어 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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제 5 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,상기 흡수층 상부에 형성된 제 1 게이트와 제 2 게이트를 감싸도록 하여 형성되는 상기 절연층의 상부에 적층되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서
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피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 흡수하여 거리를 측정하는 3차원 TOF(Time Of Flight) 거리 센서 제조 방법에 있어서,광원을 흡수하는 흡수층을 형성하는 단계;상기 흡수층 상부에 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환하는 단파장 변환층을 적층하는 단계; 및상기 단파장 변환층 상부에 상기 흡수층의 광원에서 광전 변환 신호를 추출하는 제 1 게이트와 제 2 게이트를 서로 이격하여 형성하는 단계를 포함하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,업컨버전(upconversion) 물질을 이용하여 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환함으로써, 상기 흡수층에서 광원 흡수 감도가 향상되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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10
피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 흡수하여 거리를 측정하는 3차원 TOF(Time Of Flight) 거리 센서 제조 방법에 있어서,광원을 흡수하는 흡수층을 형성하는 단계;상기 흡수층의 광원에서 광전 변환 신호를 추출하는 제 1 게이트와 제 2 게이트를 상기 흡수층 상부에 서로 이격하여 형성하는 단계; 및상기 흡수층 상부에 형성된 상기 제 1 게이트와 제 2 게이트를 감싸며, 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환하는 단파장 변환층을 적층하는 단계를 포함하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 단파장 변환층은,업컨버전(upconversion) 물질을 이용하여 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환함으로써, 상기 흡수층에서 광원 흡수 감도가 향상되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 흡수하여 거리를 측정하는 3차원 TOF(Time Of Flight) 거리 센서 제조 방법에 있어서,광원을 흡수하는 흡수층을 형성하는 단계;상기 흡수층의 광원에서 광전 변환 신호를 추출하는 제 1 게이트와 제 2 게이트를 상기 흡수층 상부에 서로 이격하여 형성하는 단계;상기 흡수층 상부에 형성된 상기 제 1 게이트와 제 2 게이트를 감싸도록 하여 절연층을 적층하는 단계; 및상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환하는 단파장 변환층을 상기 절연층 상부에 적층하는 단계를 포함하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 단파장 변환층은, 업컨버전(upconversion) 물질을 이용하여 상기 피사체에서 반사되는 적외선 영역의 광원을 가시광선 영역의 광원으로 변환함으로써, 상기 흡수층에서 광원 흡수 감도가 향상되는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 단파장 변환층을 상기 절연층 상부에 적층하는 단계는,상기 단파장 변환층을 상기 절연층 내측에 삽입하여 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 TOF 거리 센서 제조 방법
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