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나프티네이트계 광경화성 무기물 전구체 조성물 및 이를 이용한 패턴 전사 방법(Photo curable inorganic precursor composition based naphthenates and method for fabricating fine pattern using the same)

  • 기술번호 : KST2017014722
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나프티네이트계 화합물을 기반으로 하는 광경화성 무기물 전구체 조성물과 이를 이용한 무잔류층 패턴 전사 방법에 관한 것으로, 금속 이온을 함유하고 있는 나프티네이트계 무기물 전구체 조성물을 이용하여 광경화성 무기물을 기반으로 하는 수지를 합성하고, 이를 나노 임프린트 기술에 적용하여 패턴 사이에 잔류층이 발생하지 않아 정밀한 미세 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL G03F 7/004 (2016.04.09) G03F 7/028 (2016.04.09) H01L 21/033 (2016.04.09) B82Y 40/00 (2016.04.09)
CPC G03F 7/0042(2013.01) G03F 7/0042(2013.01) G03F 7/0042(2013.01) G03F 7/0042(2013.01)
출원번호/일자 1020160026978 (2016.03.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0104234 (2017.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020180004827;
심사청구여부/일자 Y (2016.03.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수옥 대한민국 대전광역시 서구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 정상희 대한민국 대전광역시 서구
4 정미라 대한민국 전라북도 남원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0217615-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.08.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.25 수리 (Accepted) 9-1-2016-0048705-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0173916-45
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0382334-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0382385-01
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0680342-07
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.10.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1063500-41
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-1063507-60
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0802976-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1269018-10
13 법정기간연장승인서
2017.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0187176-84
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0042945-18
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번호 청구항
1 1
금속 나프티네이트, 용매 및 광개시제를 포함하는 광경화성 전구체 조성물
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 나프티네이트는 니켈 나프티네이트, 철 나프티네이트, 아연 나프티네이트 및 코발트 나프티네이트 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 광경화성 전구체 조성물
3 3
제1항에 있어서,상기 용매는 톨루엔인 광경화성 전구체 조성물
4 4
제1기판 상에 금속 나프티네이트, 유기용매 및 광개시제를 포함하는 광경화성 무기물 전구체 조성물을 도포하여 수지층을 형성하는 단계, 상기 수지층 위에 패턴이 형성된 스탬프를 올려놓아 전구체 조성물이 패턴을 채우는 단계,패턴에 조성물이 채워진 스탬프를 제2기판 상에 올려놓은 후 광경화하는 단계 및스탬프를 제거하는 단계 를 포함하는 무잔류층 패턴 전사 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 스탬프는 패턴이 형성된 마스터 몰드 표면에 유기분자막을 코팅한 후, PDMS 전구체 용액을 넣어 경화시킨 다음 마스터 몰드를 분리하여 제조된 것인 무잔류층 패턴 전사 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 유기분자막은 퍼플루오로실란인 것을 특징으로 하는 무잔류층 패턴 전사 방법
7 7
제4항에 있어서,상기 전구체 조성물은 금속 나프티네이트 및 유기용매의 혼합비율이 1:5 내지 1:15인 것을 포함하는 무잔류층 패턴 전사 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101930075 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피기술 개발 (3/9)