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반도체 기판;상기 반도체 기판 상에 마련된 제1 반도체부를 구비하며 광 신호를 생성하는 레이저 다이오드; 상기 반도체 기판 상에 마련된 제2 반도체부를 구비하고 단일 방향의 방사각을 갖는 WGM(Whispery Gallery Mode) 공진기; 및상기 반도체 기판 상에서 상기 레이저 다이오드와 상기 공진기가 광학적으로 결합되어 상기 레이저 다이오드의 광 신호에 의한 모드 잠김(Mode-Lock)된 광 신호를 방사하는 구조체를 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 레이저 다이오드는 소정 각도로 경사진 입사면을 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 제1 반도체부는, n형 도핑된 제1 하부 클래드층과, p형 도핑된 제1 상부 클래드 층, 및 상기 제1 하부 클래드층과 상기 제1 상부 클래드층 사이에 배치된 제1 활성층을 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제3 항에 있어서,상기 제2 반도체부는, n형 도핑된 제2 하부 클래드층과, p형 도핑된 제2 상부 클래드층, 및 상기 제2 하부 클래드층과 상기 제2 상부 클래드층 사이에 배치된 제2 활성층을 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제4 항에 있어서,상기 제1 활성층과 상기 제2 활성층은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체층을 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 레이저 다이오드는 FP (Fabry-Perot) 레이저 다이오드, DFB (Distributed Feed-Back) 레이저 다이오드, DBR (Distributed Bragg Reflector) 레이저 다이오드 중 선택된 어느 하나를 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 레이저 다이오드와 상기 WGM 공진기 사이에 배치되어 상기 레이저 다이오드에서 생성된 광 신호를 집광하는 렌즈를 더 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 레이저 다이오드와 상기 WGM 공진기는 별도의 기판에서 각각 형성되고, 이들 사이에 상기 레이저 다이오드에서 생성된 광 신호를 집광하는 렌즈를 더 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제1 항에 있어서,상기 WGM 공진기는 실리콘, 실리카 또는 CaF2를 포함하는 저 손실 물질 중 선택된 어느 하나로 구성된 수동 도파로를 포함하는 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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제9 항에 있어서,상기 WGM 공진기는 상기 반도체 기판 상에서 상기 레이저 다이오드와 하이브리드 집적된 자체 모드 잠김 레이저 시스템
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