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주사 탐침 현미경에 있어서,시료에 집속된 교류자기장을 인가하여 상기 시료를 진동시키는 집속교류자기장 발생기를 더 포함하고;상기 집속교류자기장 발생기는,축과 나란한 방향의 관통홀을 포함하고, 외측면에는 코일이 감겨있는 보빈(bobbin) 및;상기 관통홀에 삽입되어 자기장을 증폭시키는 막대형의 금속 코어를 포함하며,상기 금속 코어는,상기 시료를 지향하는 상기 금속 코어의 타 측 말단부가 첨단으로 갈수록 그 직경이 좁아지는 것을 특징으로 하는 집속자기장 떨림반응 현미경
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제1항에 있어서,상기 집속자기장 떨림반응 현미경은,검출된 탐침의 움직임 중 상기 집속된 교류자기장의 주파수와 동기한 탐침의 움직임만을 추출하는 락인(lock-in) 증폭기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집속자기장 떨림반응 현미경
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제1항에 있어서,상기 집속교류자기장 발생기는,상기 보빈의 하부에 설치되고, 상부 중앙에 상기 금속 코어의 일 측 말단부가 결합되며 상기 보빈 및 금속 코어를 지지하는 받침대; 및상기 보빈의 상부에 설치되고, 상기 보빈의 진동이 상기 시료에 전달되는 것을 방지하는 재물대를 포함하는 것을 특징으로 하는 집속자기장 떨림반응 현미경
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삭제
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제3항에 있어서,상기 재물대는,상기 보빈, 금속 코어 및 받침대와 물리적으로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 집속자기장 떨림반응 현미경
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제1항에 있어서,상기 집속자기장 떨림반응 현미경은,접촉 모드(contact mode)로 동작하는 것을 특징으로 하는 집속자기장 떨림반응 현미경
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제1항의 집속자기장 떨림반응 현미경을 이용한 시료 측정 방법에 있어서,시료에 집속된 교류자기장을 인가하는 단계;상기 집속된 교류자기장에 의해 시료의 국소적 영역이 진동하고, 상기 진동에 따른 탐침의 움직임을 검출하는 단계;상기 탐침의 움직임 중 상기 교류자기장의 주파수와 동기한 탐침의 움직임만을 추출하는 단계;추출된 탐침의 움직임 정보에 기초하여 상기 시료 또는 탐침을 이동시켜는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 측정 방법
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