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내부에 기판이 위치하는 진공 챔버;상기 기판을 향한 일단에 분출구를 형성하는 노즐 본체와, 노즐 본체의 내부에 설치된 타겟과, 노즐 본체에 형성된 레이저 투과를 위한 윈도우를 포함하며, 상기 진공 챔버의 내부에서 상기 기판과 마주하도록 설치되는 노즐부;상기 윈도우를 통해 상기 타겟으로 고출력 펄스 레이저를 조사하여 상기 노즐 본체의 내부에서 상기 타겟의 표면 물질이 기화된 플룸(plume)을 발생시키는 레이저 조사부; 및상기 노즐 본체에 연결 설치되고, 상기 플룸으로 캐리어 가스를 분사하여 상기 플룸과 캐리어 가스를 포함한 증기젯을 상기 분출구로 방출시키는 가스 공급부를 포함하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐부 중 어느 하나는 3차원 스테이지에 결합되어 상기 증기젯이 방출되는 과정에서 움직이는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 타겟은 금속 또는 금속산화물로 형성되며, 상기 노즐 본체에 고정되어 있거나 회전 장치에 결합되는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 윈도우와 상기 타겟은 상기 노즐 본체의 측벽에서 제1 방향을 따라 마주하도록 설치되어 상기 플룸은 상기 타겟으로부터 제1 방향으로 발생하고,상기 캐리어 가스는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 공급되어 상기 분출구를 향해 증기젯을 이송하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 방향은 지면과 나란한 방향이고,상기 제2 방향은 중력 방향과 일치하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 윈도우는 상기 노즐 본체의 측벽에 설치되고,상기 타겟은 상기 분출구와 마주하는 상기 노즐 본체의 상면에 설치되며,상기 캐리어 가스는 상기 노즐 본체의 상면 양측으로부터 분사되는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제6항에 있어서,상기 플룸은 상기 타겟으로부터 상기 분출구를 향해 발생하고,상기 캐리어 가스는 상기 플룸의 주위를 감싸면서 상기 플룸과 같은 방향으로 이동하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 플룸의 발생 방향 및 상기 증기젯의 분출 방향은 중력 방향과 일치하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 타겟을 향하는 레이저 빔의 조사 방향은 지면과 나란하고,상기 플룸의 발생 방향 및 상기 증기젯의 분출 방향은 중력 방향에 대해 경사진 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 조사부는 레이저 광원, 빔 전송부, 광 섬유 결합기, 및 광 섬유를 포함하며,상기 진공 챔버는 상기 광 섬유를 통과시키기 위한 제1 관통부를 형성하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제10항에 있어서,상기 광 섬유 결합기는 섬유 커플러를 포함하고,상기 광 섬유는 상기 섬유 커플러와 상기 윈도우 사이에 설치되며,상기 윈도우와 상기 광 섬유 사이에 빔 집속 유닛이 설치되는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제1항에 있어서,상기 노즐부의 윈도우는 제1 윈도우이고,상기 진공 챔버는 상기 제1 윈도우와 마주하는 제2 윈도우를 포함하며,상기 레이저 조사부는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원과 상기 제2 윈도우 사이에 설치된 빔 전송부를 포함하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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제12항에 있어서,상기 빔 전송부는 반 파장판, 편광 빔 스플리터, 빔 스플리터, 적어도 하나의 미러, 및 집속 렌즈를 포함하는 물리적 증기젯 인쇄 장치
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윈도우와 타겟 및 분출구를 구비하며 가스 공급부와 연결된 노즐부를 챔버 내부에 배치하고, 기판을 분출구와 마주하도록 챔버 내부에 배치하며, 챔버 내부를 진공화하는 제1 단계;상기 노즐부의 상기 윈도우를 통해 상기 타겟으로 고출력 펄스 레이저를 조사하여 상기 노즐부의 내부에서 상기 타겟의 표면 물질이 기화된 플룸을 발생시키는 제2 단계;상기 가스 공급부에서 상기 노즐부 내부의 플룸으로 캐리어 가스를 분사하여 상기 플룸과 캐리어 가스가 포함된 증기젯을 상기 분출구로 방출시키는 제3 단계; 및상기 기판과 상기 노즐부 중 어느 하나를 움직여 상기 기판 위에 금속막 또는 금속산화물막을 패턴 인쇄하는 제4 단계를 포함하는 물리적 증기젯 인쇄 방법
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제14항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐부 중 어느 하나는 상기 제1 단계에서 3차원 스테이지에 결합되고, 상기 제4 단계에서 3차원 스테이지에 의해 움직이는 물리적 증기젯 인쇄 방법
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제14항에 있어서,상기 제2 단계에서,상기 타겟으로 상기 고출력 펄스 레이저를 조사할 때 광 섬유와 빔 집속 유닛이 사용되는 물리적 증기젯 인쇄 방법
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제14항에 있어서,상기 제3 단계에서,상기 캐리어 가스는 상기 플룸의 발생 방향과 교차하는 방향으로 이동하거나, 상기 플룸의 주위를 둘러싸면서 상기 플룸의 발생 방향과 같은 방향으로 이동하는 물리적 증기젯 인쇄 방법
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