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기판; 및상기 기판 상에 형성되고, Bi 박막층 및 Mn 박막층으로 이루어진 적층 단위를 적어도 2회 이상 반복 적층 및 열처리한 박막 적층체를 포함하는 보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체의 총 두께가 일정한 경우, 상기 반복 적층수의 증가에 따라 보자력(Hc)이 향상되는 보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체의 총 두께가 50nm인 경우, 상기 반복 적층수는 3회 이상이고, 25℃에서 보자력(Hc)이 15kOe 이상인보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체의 총 두께가 일정한 경우, 상기 반복 적층수의 증가에 따라 격자상수(lattice constant) c가 증가하는 보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체의 총 두께가 50nm인 경우, 상기 박막 적층수가 3회 이상이고, 격자상수(lattice constant) c가 6
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체의 총 두께는 5nm 내지 100nm인보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 적층 단위에서 Bi 박막층 및 Mn 박막층의 두께비는 2:1 내지 3:1인 보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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제1항에 있어서,상기 박막 적층체에 Pr, Pt 및 Au로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 이종원소가 도핑된 것인 보자력이 향상된 비희토류 영구자석
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(a) 기판을 준비하는 단계; 및(b) 상기 준비된 기판 상에 Bi 박막층 및 Mn 박막층으로 이루어진 적층 단위를 적어도 2회 이상 반복 적층 및 열처리하여 박막 적층체를 제조하는 단계를 포함하는보자력이 향상된 비희토류 영구자석의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 열처리는 1×10-7Torr내지 1×10-4Torr의 압력 조건 하에, 300℃ 내지 500℃의 온도에서 수행되는 보자력이 향상된 비희토류 영구자석의 제조방법
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