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테라헤르츠파를 발생시켜 측정 대상물을 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출 장치;투명 기판을 투과하여 검출된 제1 테라헤르츠파를 이용하여 상기 투명 기판의 제1 두께를 측정하는 제1 두께 측정부; 및 상기 투명 기판 상에 형성된 투명 박막을 투과하여 검출된 제2 테라헤르츠파와, 상기 제1 두께를 이용하여 상기 투명 박막의 제2 두께를 측정하는 제2 두께 측정부를 포함하고,상기 제1 두께 측정부는, 하기의 수학식 1에 의해 상기 제1 두께를 측정하는 투명 박막의 두께를 측정하는 장치:[수학식 1](여기서, D1은 상기 제1 두께, c는 빛의 속도, n1은 상기 투명 기판의 굴절률, Δf1은 상기 투명 기판을 투과하여 검출된 상기 제1 테라헤르츠파의 공진 주파수 간격임)
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제1항에 있어서, 상기 검출된 제1 및 제2 테라헤르츠파, 상기 제1 두께를 저장하는 저장부를 더 포함하는 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제1항에 있어서, 상기 제2 두께 측정부는, 하기의 수학식 2에 의해 상기 제2 두께를 측정하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치:[수학식 2](여기서, D2 는 상기 제2 두께, n2는 상기 투명 박막의 굴절률, Δf2는 상기 투명 기판 및 상기 투명 박막을 투과하여 검출된 상기 제2 테라헤르츠파의 공진 주파수 간격, n1은 상기 투명 기판의 굴절률, D1은 상기 제1 두께임)
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제1항 또는 제4항에 있어서,상기 투명 기판의 굴절률, 상기 투명 박막의 굴절률 및 상기 빛의 속도를 입력받는 입력부를 더 포함하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠파 검출 장치는,펨토초 레이저 빔을 생성하는 레이저 빔 생성기;상기 펨토초 레이저 빔을 제1 빔 및 제2 빔으로 분리하는 빔 분리기;상기 제1 빔을 투과시켜 테라헤르츠파를 생성하여 상기 측정 대상물로 전달하는 제1 ZnTe 결정;상기 측정 대상물을 투과한 테라헤르츠파와, 상기 제2 빔을 입사받는 제2 ZnTe 결정; 및상기 제2 ZnTe 결정을 투과한 상기 테라헤르츠파 및 상기 제2 빔을 이용하여 상기 측정 대상물을 투과한 테라헤르츠파의 전기장 세기를 검출하는 검출기를 포함하는 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제6항에 있어서, 이동 제어 명령을 입력받는 입력부를 더 포함하고, 상기 테라헤르츠파 검출 장치는, 상기 이동 제어 명령에 따라 상기 제1 ZnTe 결정, 반사 미러 및 상기 제2 ZnTe 결정을 x축, y축, z축 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키면서 상기 측정 대상물을 투과한 상기 테라헤르츠파를 검출하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제7항에 있어서, 상기 제1 두께 측정부는, 상기 투명 기판에서 이동되며 검출된 상기 제1 테라헤르츠파를 이용하여 상기 제1 테라헤르츠파의 검출 위치에 따른 상기 투명 기판의 제1 두께를 측정하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제7항에 있어서, 상기 제2 두께 측정부는, 상기 투명 박막에서 이동되며 검출된 상기 제2 테라헤르츠파를 이용하여 상기 제2 테라헤르츠파의 검출 위치에 따른 상기 투명 박막의 제2 두께를 측정하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제2 테라헤르츠파의 검출 위치에 따른 상기 투명 박막의 제2 두께를 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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제1항에 있어서, 상기 투명 기판은, PET(poly-ethylene-terephthalate), PC(poly-carbonate) 및 PI(poly-imide) 중 어느 하나로 이루어진, 투명 박막의 두께를 측정하는 장치
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투명 기판을 투과하여 검출된 제1 테라헤르츠파를 이용하여 상기 투명 기판의 제1 두께를 측정하는 단계; 및투명 박막이 형성된 상기 투명 기판을 투과하여 검출된 제2 테라헤르츠파와, 상기 제1 두께를 이용하여 상기 투명 박막의 제2 두께를 측정하는 단계;를 포함하고,상기 제1 두께를 측정하는 단계는, 하기의 수학식 1에 의해 상기 제1 두께를 측정하는 투명 박막의 두께를 측정하는 방법:[수학식 1](여기서, D1은 상기 제1 두께, c는 빛의 속도, n1은 상기 투명 기판의 굴절률, Δf1은 상기 투명 기판을 투과하여 검출된 상기 제1 테라헤르츠파의 공진 주파수 간격임)
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제12항에 있어서, 상기 제2 두께를 측정하는 단계는, 하기의 수학식 2에 의해 상기 제2 두께를 측정하는, 투명 박막의 두께를 측정하는 방법:[수학식 2](여기서, D2 는 상기 제2 두께, n2는 상기 투명 박막의 굴절률, Δf2는 상기 투명 기판 및 상기 투명 박막을 투과하여 검출된 상기 제2 테라헤르츠파의 공진 주파수 간격, n1은 상기 투명 기판의 굴절률, D1은 상기 제1 두께임)
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