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지지용 플레이트; 및 상기 플레이트 상에 부착되고, 복수개로 분할된 타겟 패턴 영역들을 포함하되, 상기 타겟 패턴 영역들 중 적어도 하나는 서로 상이한 자성 타겟 패턴 재료로 형성된 것인 복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟
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제1항에 있어서,상기 스퍼터링 타겟은 상기 복합 자성물질의 각 자성 재료 간의 조성 분포를 조절하기 위한 것인복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟
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제1항에 있어서,상기 복합 자성물질은 철-니켈 재료, 철-니켈-보론 재료, 철-알루미늄-실리콘 재료, 철-니켈-크롬 재료, 철-산소 재료, 알루미늄-니켈-코발트 재료, 사마륨-코발트 재료 또는 네오디뮴-철-보론 재료의 자성 재료의 조합으로 형성된복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟
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제1항에 있어서,상기 타겟 패턴 영역들은 상기 플레이트 상에 실버 페이스트를 통해 부착된 것인 복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟
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(a) 기판 상에 제1항에 따른 스퍼터링 타겟을 이격되게 위치시키는 단계; 및 (b) 상기 스퍼터링 타겟을 이용하여 복합 자성물질을 증착시키는 단계를 포함하는 복합 자성물질 증착방법
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제5항에 있어서,상기 (a) 단계 후, 상기 기판 및 상기 스퍼터링 타겟 간의 이격 거리 및 각도를 조절하는 단계를 추가로 포함하는 복합 자성물질 증착방법
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