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공명 터널 소자 및 그 제조 방법(RESONANT TUNNELING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THERE OF)

  • 기술번호 : KST2017015318
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 공명 터널 소자(resonant tunneling device)는 축퇴된 반도체층; 축퇴된 반도체층 상에 형성되는 제 1 무기물층; 제 1무기물층 상에 형성되는 유기물층; 및 유기물층 상에 형성되는 전극층을 포함하되, 유기물층은 불연속적인 복수의 에너지 준위를 갖도록 형성된다.
Int. CL H01L 29/788 (2016.04.24) H01L 29/423 (2016.04.24) H01L 29/73 (2016.04.24) H01L 29/417 (2016.04.24) H01L 29/66 (2016.04.24)
CPC H01L 29/7883(2013.01) H01L 29/7883(2013.01) H01L 29/7883(2013.01) H01L 29/7883(2013.01) H01L 29/7883(2013.01)
출원번호/일자 1020160033647 (2016.03.21)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0109461 (2017.09.29) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.21)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박진홍 대한민국 경기도 화성
2 심재우 대한민국 경기도 부천시 원미구
3 이성주 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 조정호 대한민국 서울특별시 강남구
5 우한영 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0271866-45
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0434243-26
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0807572-34
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0807571-99
6 등록결정서
Decision to grant
2017.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0789230-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공명 터널 소자(resonant tunneling device) 에 있어서,축퇴된 반도체층;상기 축퇴된 반도체층 상에 형성된 제 1 무기물층;상기 제 1무기물층 상에 형성된 유기물층; 및상기 유기물층 상에 형성된 전극층을 포함하되,상기 유기물층은 불연속적인 복수의 에너지 준위를 갖도록 형성된 것이고,상기 전극층에 양의 전압이 인가되는 경우, 상기 공명 터널 소자는 복수 개의 피크(peak)와 밸리(valley) 전류를 갖는 부성 저항 특성을 나타내는 것인 공명 터널 소자
2 2
제 1 항에 있어서,상기 유기물층과 상기 전극층 사이에 형성된 제 2무기물층을 더 포함하는 것인 공명 터널 소자
3 3
제 2 항에 있어서,상기 유기물층은 상기 제 1 무기물층 및 제 2 무기물층 보다 두꺼운 것인 공명 터널 소자
4 4
제 2 항에 있어서,상기 제 1 무기물층 및 제 2 무기물층은 알루미늄 옥사이드(Al2O3), 하프늄 옥사이드(HfO2), 실리콘 나이트라이드(Si3N4), 질화붕소(BN), 산화아연(ZnO) 및 질화 갈륨(GaN) 중 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것인 공명 터널 소자
5 5
제 1 항에 있어서,상기 유기물층은 PPDTBT, PPDTFBT 및 PPDT2FBT중 어느 하나의 고분자 중합체로 구성되는 것인 공명 터널 소자
6 6
제 1 항에 있어서,상기 축퇴된 반도체층이 n형 반도체층인 경우, 상기 복수의 에너지 준위 중 가장 높은 에너지 준위는 상기 축퇴된 반도체층의 페르미 준위보다 낮고, 상기 축퇴된 반도체층이 p형 반도체층인 경우, 상기 복수의 에너지 준위 중 가장 낮은 에너지 준위는 상기 축퇴된 반도체층의 페르미 준위보다 높은 것인 공명 터널 소자
7 7
제 1 항에 있어서,상기 복수의 에너지 준위를 구성하는 제 1 및 제 2 에너지 준위 간의 간격은 0
8 8
삭제
9 9
공명 터널 소자(resonant tunneling device)의 제조 방법에 있어서,축퇴된 반도체층을 형성하는 단계;상기 축퇴된 반도체층 상에 제 1 무기물층을 형성하는 단계;상기 제1 무기물층 상에 유기물층을 형성하는 단계; 및상기 유기물층 상에 전극층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 유기물층은 불연속적인 복수의 에너지 준위를 갖도록 형성된 것이고,상기 공명 터널 소자의 제조 방법에 의해 제조된 상기 공명 터널 소자는상기 전극층에 양의 전압이 인가되는 경우, 복수 개의 피크(peak)와 밸리(valley) 전류를 갖는 부성 저항 특성을 나타내는 것인 공명 터널 소자의 제조 방법
10 10
제 9항에 있어서,상기 유기물층을 형성하는 단계와 전극층을 형성하는 단계 사이에,상기 유기물층 상에 제 2 무기물층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것인 공명 터널 소자의 제조 방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 유기물층을 형성하는 단계에서 상기 유기물층은 상기 제 1 무기물층 및 제 2 무기물층 보다 두껍게 형성되는 것인 공명 터널 소자의 제조 방법
12 12
제 9 항에 있어서,상기 유기물층을 형성하는 단계에서상기 유기물층은 PPDTBT, PPDTFBT 및 PPDT2FBT중 어느 하나의 고분자 중합체로 구성되는 것인 공명 터널 소자의 제조 방법
13 13
제 9 항에 있어서,상기 유기물층을 형성하는 단계에서상기 축퇴된 반도체층이 n형 반도체층인 경우, 상기 복수의 에너지 준위 중 가장 높은 에너지 준위는 상기 축퇴된 반도체층의 페르미 준위보다 낮고, 상기 축퇴된 반도체층이 p형 반도체층인 경우, 상기 복수의 에너지 준위 중 가장 낮은 에너지 준위는 상기 축퇴된 반도체층의 페르미 준위보다 높은 것인 공명 터널 소자의 제조 방법
14 14
제 9 항에 있어서,상기 복수의 에너지 준위를 구성하는 제 1 및 제 2 에너지 준위 간의 간격은 0
15 15
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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2 미래창조과학부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 선행공정·플랫폼기술연구개발사업 M3D 집적 초절전 아키텍처 구현을 위한 저온공정 및 원자스위치 소자 개발
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