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질화규소 원료분말에 기공 형성을 위한 소결 조제의 첨가량을 제어하는 단계;상기 질화규소 원료분말의 균일한 기공 형성을 가능하게 하도록 상기 질화규소 원료분말을 혼합하는 단계;상기 혼합된 소결 조제 및 질화규소 원료분말을 성형하는 단계; 및상기 질화규소 원료분말을 불활성 분위기에서 소결하는 단계를 포함하고,상기 질화규소 원료분말을 혼합하는 단계는,상기 질화규소 원료분말 및 소결 조제를 혼합하여 슬러리 제조시, 균일한 물성을 가지는 소결체 제조를 위하여 소결 조제만을 24 시간 이상 볼밀로 혼합하는 단계; 및상기 혼합된 소결 조제를 상기 질화규소 원료분말과 섞은 후 24시간 이상 볼밀로 혼합하는 단계를 포함하며,상기 소결 조제의 함량은, 상기 질화규소 원료분말 및 소결 조제의 총합의 1 wt
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제1항에 있어서,상기 슬러리의 분산제는, 아크릴계 수지, 폴리카르복실산 염, 유기 고분자 계면활성제 중 적어도 하나이고, 바인더로서는, 폴리 비닐 부틸 수지, 폴리 비닐 알코올 수지, 폴리에스테르계 수지, 스테아르산 수지 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 소결체 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 혼합 원료를 성형하는 단계에서,성형하는 방법은, 습식 성형법, 일축성형법 및 냉간정수압성형법 중 하나의 성형 방식이고,상기 습식 성형법은, 슬립캐스팅, 가압슬립캐스팅 및 젤캐스팅 중 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 소결체 제조 방법
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 제조 방법에 의해 제조되는 다공성 질화규소 소결체
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제4항에 있어서, 질화규소 결정 입자의 90 vol
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제4항에 있어서, 기공도는 1
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