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음향 센서(ACOUSTIC SENSOR)
- 기술번호 : KST2017015362
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 트렌치 내에 배치되는 분리막에 의해 서로 이격되는 제 1 영역 및 제 2 영역을 갖는 기판, 상기 제 1 영역의 기판에 형성되는 제 1 센서, 및 상기 제 2 영역의 기판에 형성되고, 상기 제 1 센서와는 다른 감지 음역대를 갖는 제 2 센서를 포함하는 음향 센서를 제공하되, 상기 제 1 및 상기 제 2 센서 각각은 상기 기판 내에 제공되는 음향 챔버, 상기 음향 챔버 상에 플로팅되는 하부 전극, 상기 하부 전극의 상부(over)에 배치되고, 그의 내부를 관통하는 배기홀을 갖는 진동판, 및 상기 기판과 상기 진동판 사이에 배치되어, 상기 진동판을 지지하는 지지로드들을 포함하고, 상기 지지로드들은 상기 배기홀을 사이에 두고 서로 대향하여 배치될 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | G01H 11/06 (2016.04.27) B81B 3/00 (2016.04.27) B81B 7/00 (2016.04.27) B81C 1/00 (2016.04.27) |
| CPC | G01H 11/06(2013.01) G01H 11/06(2013.01) G01H 11/06(2013.01) G01H 11/06(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020160033501 (2016.03.21) |
| 출원인 | 한국전자통신연구원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2017-0109738 (2017.10.10) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 1 |