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제1 측의 제1 높이에 배치되고 연속상 용액이 주입되는 제1 주입구와, 상기 제1 측의 제1 높이와 다른 제2 높이에 배치되고 분산상 용액이 주입되는 제2 주입구와, 상기 제1 측과 마주하는 제2 측에 배치되고, 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이 중 어느 하나와 동일하거나, 상기 제1 높이와 상기 제2 높이의 사이값을 갖는 제3 높이에 배치되며, 상기 연속상 용액과 상기 분산상 용액이 합류하는 합류 영역과, 상기 합류 영역으로부터 상기 제1 주입구와 상기 제2 주입구 각각과 연결되도록 분기된 제1 마이크로 채널 및 제2 마이크로 채널이 형성된 단위 구조체를 포함하는 입자 생성부; 및상기 입자 생성부의 상기 합류 영역과 연결되고, 상기 합류 영역에서 상기 연속상 용액과 상기 분산상 용액의 합류로 형성된 미세 입자를 일 방향으로 유동시켜 외부로 배출하는 입자 배출 마이크로 채널부를 포함하되,상기 제1 마이크로 채널은 상기 합류 영역에서 상기 제1 높이로 형성된 2개의 말단 채널부들로 분기되어 상기 말단 채널부들 각각이 상기 합류 영역에서 분기된 제1 서브 채널 및 제2 서브 채널과 연결되고,상기 말단 채널부들 제1 말단 채널부는 상기 제1 서브 채널과 상하 방향으로 연결되며 제2 말단 채널부는 상기 제2 서브 채널과 상하 방향으로 연결되고,상기 제2 마이크로 채널은 상기 제1 및 제2 서브 채널들 사이에 배치된 제3 서브 채널과 연결되며,상기 제1 내지 제3 서브 채널들에 의해서 상기 합류 영역에서 상기 연속상 용액과 상기 분산상 용액이 합류되는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 단위 구조체는상기 제1 주입구와 상기 제1 마이크로 채널이 형성된 하부 플레이트;상기 하부 플레이트와 마주하여 배치되고, 상기 제2 주입구와 상기 제2 마이크로 채널이 형성된 상부 플레이트; 및상기 하부 및 상부 플레이트들 사이에 개재되고, 상기 제1 내지 제3 서브 채널들이 형성된 중간 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 단위 구조체에서상기 하부 플레이트, 상기 중간 플레이트 및 상기 상부 플레이트는 접합되어 서로 연결된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 주입구와 상기 제1 마이크로 채널은 상기 하부 플레이트를 식각면에서부터 반대면으로 부분 식각하여 식각면이 개구되고 반대면은 잔류하도록 형성되고,상기 제2 주입구와 상기 제2 마이크로 채널은 상기 상부 플레이트를 식각면에서부터 반대면으로 부분 식각하여 식각면이 개구되고 반대면은 잔류하도록 형성되고,상기 제1 내지 제3 서브 채널들은 상기 중간 플레이트를 식각면에서부터 반대면으로 부분 식각하여 식각면이 개구되고 반대면은 잔류하도록 형성되고,상기 하부 플레이트의 식각면이 상기 중간 플레이트의 식각면의 반대면과 마주하도록 결합되고, 상기 상부 플레이트의 식각면이 상기 중간 플레이트의 식각면과 마주하도록 결합된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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7
제4항에 있어서,상기 제1 주입구와 상기 제1 마이크로 채널은 상기 하부 플레이트의 상하 방향으로 관통되도록 전체 식각하여 형성되고,상기 제2 주입구와 상기 제2 마이크로 채널은 상기 상부 플레이트의 상하 방향으로 관통되도록 전체 식각하여 형성되며,상기 제1 내지 제3 서브 채널들은 상기 중간 플레이트의 상하 방향으로 관통되도록 전체 식각하여 형성된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 단위 구조체에는 상기 제1 주입구, 상기 제2 주입구, 상기 제1 마이크로 채널, 상기 제2 마이크로 채널 및 상기 합류 영역 각각이 x개(이때, x는 2 이상의 자연수)씩 형성되고,x개의 합류 영역들은 상기 단위 구조체의 제2 측에서 일렬로 배열되고,x개의 합류 영역들 각각과 연결된 x개의 제1 마이크로 채널들이 일 방향으로 서로 평행하게 이격되어 상기 제1 측에 x개의 제1 주입구들끼리 일렬로 배열되고,x개의 합류 영역들 각각과 연결된 x개의 제2 마이크로 채널들이 상기 일 방향과 다른 방향으로 서로 평행하게 이격되어 상기 제1 측에 x개의 제2 주입구들끼리 일렬로 배열된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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9
제8항에 있어서,x개의 제1 마이크로 채널들의 유로 길이는 서로 동일하고,x개의 제2 마이크로 채널들의 유로 길이는 서로 동일한 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제8항에 있어서,상기 단위 구조체는x개의 제1 주입구들이 형성된 상기 제1 측의 제1 영역과 x개의 제2 주입구들이 형성된 상기 제1 측의 제2 영역 사이에 배치되어 상기 제1 영역과 상기 제2 영역을 구분하는 분리 홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제8항에 있어서,상기 입자 생성부는 상기 단위 구조체를 적어도 2 이상 포함하고,2개 이상의 단위 구조체들이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제11항에 있어서,2 이상의 단위 구조체의 제1 주입구들에 서로 동일한 유속으로 상기 연속상 용액을 공급하는 제1 용액 공급부; 및2 이상의 단위 구조체의 제2 주입구들에 서로 동일한 유속으로 상기 분산상 용액을 공급하는 제2 용액 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제12항에 있어서,상기 제1 주입구들로 상기 연속상 용액을 방출하는 상기 제1 용액 공급부의 배출구는 상기 제1 주입구들 모두와 동시에 맞물린 구조를 갖고,상기 제2 주입구들로 상기 분산상 용액을 방출하는 상기 제2 용액 공급부의 배출구는 상기 제2 주입구들 모두와 동시에 맞물린 구조를 갖는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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14
제1항에 있어서,상기 입자 생성부는 상기 단위 구조체를 적어도 2 이상 포함하고,2개 이상의 단위 구조체들이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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15
제14항에 있어서,단위 구조체들은 서로 접합되어 상하 방향으로 적층된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제15항에 있어서,단위 구조체들은 서로 확산 접합되거나, 브레이징(brazing) 연결된 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 주입구와 연결되어 상기 연속상 용액을 공급하는 제1 용액 공급부; 및상기 제2 주입구와 연결되어 상기 분산상 용액을 공급하는 제2 용액 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 입자 배출 마이크로 채널부는상기 합류 영역과 연결된 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는,미세 입자 제조 장치
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