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모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치로, 상기 장치는 하전입자선을 방출하는 하전입자원;상기 하전입자원을 가열하는 전류(Ifil)를 인가하는 필라멘트(Filament);상기 하전입자원으로부터 임의의 방향으로 전자방사를 억제하는 억제 전극(suppressor);상기 하전입자원에 인출전압(Vext)을 인가하는 인출 전극(extractor);상기 인출 전극을 통과한 하전입자선을 집속하여 통과시키는, 각각 개구부를 구비한 복수 개의 전극을 포함하는 제1 전송(transfer) 렌즈(제1 축대칭렌즈)부;상기 제1 전송 렌즈부에서 상기 하전입자선의 진행방향으로 이격되어 상기 제1 전송 렌즈를 통과한 하전입자선의 입사각도를 미리 정한 범위에서 제한하는 입사 조리개(Aperture);상기 입사 조리개를 통과한 하전입자선 중 미리 정한 에너지 범위의 하전입자선을 선택적으로 통과시키는 모노크로미터;상기 모노크로미터를 통과한 하전입자선을 집속하여 통과시키는, 각각 개구부를 구비한 복수 개의 전극을 포함하는 제2 전송 렌즈(제2 축대칭렌즈)부;상기 제2 전송 렌즈를 통과한 하전입자를 배출하며, 접지되는 하전입자선 배출전극;상기 모노크로미터 후방으로 하전입자선 렌즈계 편향계와 비점 보정 장치를 갖는 광학계;상기 하전입자선이 조사되는 시료와 상기 시료를 내부에 장착하는 시료실;상기 하전입자선의 조사를 통해 시료로부터 방출되는 하전입자선을 검출하는 검출기; 및제어부를 포함하고,상기 하전입자원, 상기 억제 전극, 상기 인출전극, 상기 제1 전송 렌즈부, 상기 입사 조리개, 상기 모노크로미터, 상기 제2 전송 렌즈, 상기 광학계, 상기 시료실 및 상기 검출기는 진공펌프를 통해 진공상태로 유지되며,상기 모노크로미터는, 직사각형 개구부를 구비하며, 에너지 분포를 가지고 입사하는 하전입자선에서 미리 정한 에너지 범위에 속한 입자를 선택적으로 통과시키는 선택 조리개(Aperture)를 상기 직사각형 개구부 내부 두께의 중심에 구비한 중앙 전극;입사하는 하전입자선이 통과할 수 있도록 직사각형 개구부를 구비하고 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 각각 나란히 배열된 복수 개의 전극;상기 전방부와 후방부에 각각 배열된 복수 개의 전극의 개구부가 정전렌즈 작용을 하도록 전력을 인가하는 전원부; 및 상기 전방부에 배열된 복수 개의 전극이 정전렌즈 작용으로 입사하는 하전입자선을 일방향으로 편향시키고, 상기 후방부에 배열된 복수 개의 전극이 정전렌즈 작용으로 상기 일방향으로 편향된 하전입자선을 원래 위치로 다시 편향시켜 출사시킬 수 있도록, 상기 입사하는 하전입자선의 중심 축으로부터 미리 정한 거리만큼 상기 직사각형 개구부의 짧은 변 방향 중심이 이동되도록 상기 중앙전극 및 상기 복수 개의 전극을 이동조절하는 이동조절부를 포함하고,상기 중앙 전극 및 상기 복수 개의 전극은 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항에 있어서,상기 하전입자원, 상기 억제전극 상기 인출전극 및 상기 제1 전송렌즈부는 상기 모노크로미터와 분리된 초고진공 공간을 구비하고, 상기 분리된 초고진공 공간은 별도의 진공펌프를 통해 초고진공을 유지하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제2 전송렌즈와 상기 하전입자선 배출전극 사이에, 상기 제 2 전송 렌즈부로부터 상기 하전입자선의 진행방향으로 이격되어 상기 제 2 전송 렌즈부와 대향하는 대향전극을 더 구비하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항에 있어서,상기 중앙전극의 전방부와 후방부에 각각 배치되는 복수개의 전극은 각각 2개의 전극으로, 상기 중앙전극을 기준으로 대칭구조를 이루며 일체형으로 서로 고정되고,상기 선택 조리개는 상기 중앙전극에 고정되고, 상기 제1 전송 렌즈 및 2 전송 렌즈에 포함되는 전극은 각각 2개이고,상기 제1 전송 렌즈의 후방부 전극과 상기 제2 전송 렌즈의 전방부 전극은, 각각 상기 입사 조리개와 상기 모노크로미터를 내부에 포함하는, 전송 렌즈 지지부의 상면과 하면을 구성하며,상기 전송 렌즈 지지부의 상면과 상기 입사조리개 사이, 및 상기 모노크로미터 후방부의 후단 전극과 상기 전송 렌즈 지지부의 하면 사이에는 하전입자선의 위치를 보정하는 정렬(Alignment) 전극이 더 배열되고,상기 제1 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 첫 번째 전극전압은 상기 인출전압이고, 두 번째 전극전압은 통과전압이며,상기 제2 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 첫 번째 전극전압은 통과전압이고, 두 번째 전극전압은 상기 인출전압인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항에 있어서,상기 중앙전극의 전방부와 후방부에 각각 배치되는 복수개의 전극은 각각 2개의 전극으로, 상기 중앙전극을 기준으로 대칭구조를 이루며 일체형으로 서로 고정되고,상기 선택 조리개는 상기 중앙전극에 고정되고, 상기 제1 전송 렌즈 및 2 전송 렌즈에 포함되는 전극은 각각 3개이고,상기 제1 전송 렌즈의 후방부 전극과 상기 제2 전송 렌즈의 전방부 전극은, 각각 상기 입사 조리개와 상기 모노크로미터를 내부에 포함하는, 전송 렌즈 지지부의 상면과 하면을 구성하며,상기 전송 렌즈 지지부의 상면과 상기 입사조리개 사이 및 상기 모노크로미터 후방부의 후단 전극과 상기 전송 렌즈 지지부의 하면 사이에는 하전입자선의 위치를 보정하는 정렬 전극이 더 배열되며,상기 제1 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 첫 번째 전극전압은 상기 인출전압이고, 상기 제1 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 두 번째 전극전압은 상기 하전입자선을 평행하게 유지하는 전압이며, 세 번째 전극전압은 추출전압보다 낮은 통과전압이고,상기 제2 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 첫 번째 전극전압은 통과전압이고, 상기 제2 전송 렌즈의 하전입자선 진행방향 두 번째 전극전압은 상기 제1 전송 렌즈의 두 번째 전극전압과 같은 전압이며, 세 번째 전극전압은 통과전압보다 높은 추출전압인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 5항에 있어서,상기 대향전극과 상기 하전입자선 배출전극 사이에는 하전입자선 가속관을 더 구비하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 중앙전극, 상기 중앙전극 기준으로 대칭인 상기 전방부의 전면에 배열된 전극 및 상기 후방부의 후면에 배열된 전극에 통과전압(Vp)을 인가하고, 상기 중앙전극 기준으로 대칭인 상기 전방부의 후면에 배열된 전극에 제1 원통형렌즈 전압(VCL1)을, 상기 후방부의 전면에 배열된 전극에 제2 원통형렌즈 전압(VCL2)을 각각 인가하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 9항에 있어서, 상기 제1 원통형렌즈 전압(VCL1)과 상기 제2 원통형렌즈(VCL2)전압은 동일한 크기인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이동조절부로 이동조절되고 일체형으로 서로 고정된 전극은, 상기 제2 전송 렌즈부의 중심축에 대해 이동조절되는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 5항에 있어서,상기 제2 전송 렌즈부의 하부전극과 상기 대향전극은 동일한 전위가 인가되는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 전송 렌즈부의 하부전극과 중앙전극 기준으로 대칭인 상기 전방부의 전면에 배치된 전극은 동일한 전위가 인가되는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 전송 렌즈부의 상부전극과 상기 후방부의 후면에 배열된 전극은 동일한 전위가 인가되는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자선 배출전극은 상기 배출전극을 통과한 하전입자선이 진행하는 광학계의 콘덴서렌즈의 일부인, 모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자선 배출전극은 상기 배출전극을 통과한 하전입자선이 가속되는 가속관의 일부인, 모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 6항 또는 제 7항에 있어서,상기 전송 렌즈 지지부는 진공배기관으로 진공이 유지되는 공간 내부에 위치하며, 상기 제1 전송 렌즈부의 하부전극 및 상기 제2 전송 렌즈부의 상부전극과 동일한 전위인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 17항에 있어서,상기 이동조절부는 상기 전송 렌즈 지지부를 통과하여 마련되는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 18항에 있어서,상기 이동조절부는 상기 중앙전극에 연결되어 작용하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자선의 하전입자는 전자이고, 상기 하전입자선 배출전극은 양극(anode)인, 모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 20항에 있어서,전자인 상기 하전입자원, 상기 억제 전극 및 상기 인출 전극은 절연물을 통해 접지전위인 전자총 플랜지(Flange)에 연결되고, 접지부는 진공 내부에서 수평과 수직 방향 조정이 가능하도록 벨로우즈로 연결되어, 모노크로미터와 독립적으로 전자원을 교체가능하게 하는,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하전입자선의 하전입자는 이온이고, 상기 하전입자선 배출전극은 음극(Cathode)인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 21항에 있어서,상기 하전입자선 장치는,시료실에 위치한 시료의 표면의 영상을 관찰하는 주사전자현미경인, 모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 21항에 있어서, 상기 하전입자선 장치는,시료실에 위치한 시료를 투과한 전자선의 영상을 획득하는 투과전자현미경인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 21항에 있어서,상기 하전입자선 장치는, 시료실에 위치한 시료표면을 식각하는, 전자빔 식각 장치인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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제 22항에 있어서,상기 하전입자선 장치는,시료실에 위치한 시료의 표면을 가공하는 집속이온빔 장치인,모노크로미터를 구비한 하전입자선 장치
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