| 1 |
1
그래핀 성장기판에 그래핀 도메인을 제어하기 위한 그래핀 형성용 패턴을 형성하는 그래핀패턴형성단계; 및상기 그래핀 형성용 패턴이 형성된 그래핀 성장기판 상에 그래핀층을 형성하는 그래핀형성단계;를 포함하되, 그래핀층은 그래핀 형성용 패턴을 덮으면서 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 그래핀 성장기판은 실리콘, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동, 백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함하는 것인 그래핀 제조방법
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 그래핀 형성용 패턴은 상기 그래핀층의 성장이 억제되는 패턴인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 그래핀패턴형성단계는 상기 그래핀 성장기판에 광을 조사하여 수행되는 단계인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 상기 광의 조사는 IPL(Intensed Pulsed Light, 백색단파장) 및 레이저광 중 적어도 하나를 조사하여 수행되는 것인 그래핀 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 그래핀 형성용 패턴은 육각형 패턴이 반복되는 허니콤(honey) 패턴인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서, 상기 그래핀층은 상기 그래핀 형성용 패턴과 동일한 형상의 도메인을 갖는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
|
| 8 |
8
청구항 1의 그래핀 제조방법에 따라 제조되고, 육각형 패턴이 반복되어 형성된 허니콤 패턴의 도메인을 갖는 그래핀
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
삭제
|
