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2차원 물질의 전사 방법(TRANSFER METHOD OF 2D MATERIAL)

  • 기술번호 : KST2017015636
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시 형태에 따른 2차원 물질의 전사 방법은, 호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계; 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계; 상기 호일을 제거하는 단계; 상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 기판에 전사하는 단계; 및 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계;를 포함한다. 이러한 실시 형태에 따른 2차원 물질의 전사 방법은, 고체 상태의 고분자 막을 사용하기 때문에, 기판에 전사된 2차원 물질층에 고분자 잔류물이 생기지 않고, 대면적의 기판에도 안정적으로 2차원 물질층을 전사할 수 있으며, 고체 상태의 고분자 막을 2차원 물질층에서 쉽게 제거할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL G03F 7/16 (2016.05.04) C01B 31/04 (2016.05.04) G03F 1/00 (2016.05.04) G03F 7/34 (2016.05.04) B41M 1/26 (2016.05.04)
CPC G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01)
출원번호/일자 1020160037326 (2016.03.29)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0111573 (2017.10.12) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.29)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민범기 대한민국 대전광역시 유성구
2 김우영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0298777-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2016-0052035-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0003839-30
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0156695-59
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0156694-14
7 등록결정서
Decision to grant
2017.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0491145-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계;고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계;상기 호일을 제거하는 단계;상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 기판에 전사하는 단계; 및 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계;를 포함하고,상기 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계는, 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 물을 매개로 전사하되, 0도(℃) 초과 100도(℃) 미만의 온도에서 수행되는, 2차원 물질의 전사 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 상기 기판에 전사하는 단계와 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계 사이에는,감광물질을 상기 고분자 막에 도포하고, 도포된 상기 감광물질을 패터닝하는 단계;패터닝된 상기 감광물질을 마스크로하여 상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 패터닝하는 단계; 및상기 감광물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는, 2차원 물질의 전사 방법
3 3
호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계;고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계;상기 호일을 제거하는 단계;상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 상기 호일과 다른 호일에 합성된 동종의 2차원 물질층에 전사한 후 상기 다른 호일을 제거하는 과정을 적어도 1회 이상 반복하여 다층 구조의 2차원 물질층을 형성하는 단계;상기 고분자 막과 상기 다층 구조의 2차원 물질층을 기판에 전사하는 단계; 및상기 고분자 막을 상기 다층 구조의 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계;를 포함하는, 2차원 물질의 전사 방법
4 4
호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계;고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계;상기 호일을 제거하는 단계;상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 상기 호일과 다른 호일에 합성된 이종의 2차원 물질층에 전사한 후 상기 다른 호일을 제거하는 과정을 적어도 1회 이상 반복하여 이종의 2차원 물질 복합층을 형성하는 단계;상기 고분자 막과 상기 이종의 2차원 물질 복합층을 기판에 전사하는 단계; 및상기 고분자 막을 상기 이종의 2차원 물질 복합층으로부터 제거하는 단계;를 포함하는, 2차원 물질의 전사 방법
5 5
호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계;고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계;전기 화학적인 방법을 사용하여 상기 호일을 상기 2차원 물질층으로부터 분리하는 단계;상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 기판에 전사하는 단계; 및 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계;를 포함하는, 2차원 물질의 전사 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 물에는 소정의 유기 용매와 무기 용매가 더 포함된, 2차원 물질의 전사 방법
7 7
제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계는, 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 물을 매개로 전사하되, 0도(℃) 초과 100도(℃) 미만의 온도에서 수행되는, 2차원 물질의 전사 방법
8 8
제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계는, 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 물을 매개로 전사하되, 상기 물에는 소정의 유기 용매와 무기 용매가 더 포함된, 2차원 물질의 전사 방법
9 9
제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계는, 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 물을 매개로 전사하되, 상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 진공챔버에 넣고, 펌프로 상기 진공챔버 안의 공기를 빼내는, 2차원 물질의 전사 방법
10 10
호일에 2차원 물질을 합성하여 호일에 2차원 물질층을 형성하는 단계;고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계;상기 호일을 제거하는 단계;상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 기판에 전사하는 단계; 및 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층으로부터 제거하는 단계;를 포함하고,상기 고체 상태의 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 전사하는 단계는, 상기 고분자 막을 상기 2차원 물질층에 물을 매개로 전사하되, 상기 고분자 막과 상기 2차원 물질층을 진공챔버에 넣고, 펌프로 상기 진공챔버 안의 공기를 빼내는, 2차원 물질의 전사 방법
11 11
제 1 항 내지 제 5 항, 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차원 물질은, 그래핀(graphene), 그래파인(graphyne), 보로핀(borophene), 저마닌(germanene), 실리신(silicene), 스테닌(stanene), 포스포린(phosphorene), 보론 질화물(boron nitride), 전이금속-칼코겐 화합물(transition metal di-chalcogenides, TMDCs), 단일층 팔라듐(Pd) 및 로듐(Rh) 중 어느 하나로 구성된, 2차원 물질의 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 자연계 비존재 극한물성 메타물질 연구(2단계/2차년)
2 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플랫폼 개발(2단계/2차년)
3 미래창조과학부 한국과학기술원 기초연구사업 고출력 T-선과 레이져빔 융합생체영상 및 기능조절 개발(3차)
4 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 능동형 위상제어 광원 및 렌즈 원천기술 개발(1단계2차년도)
5 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 전자기 극한물성 능동제어 기술(2차년)