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모노크로미터 및 이를 구비한 전자선 손실분광 장치(Monochromator and Electron Energy Loss Spectroscopy comprising the same)

  • 기술번호 : KST2017015692
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하전입자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 에너지 선택 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 하전입자선을 선택하는 것이 가능한 하전입자선 장치에 관한 것으로, 모노크로미터 중앙 전극 및 상기 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 배열되는 복수 개의 전극이 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조를 취하기 때문에, 전방부와 후방부에 각각의 렌즈를 별도로 마련하는 경우에 비해 광축에 대해 오프셋을 조정하는 기구가 간소해지는 장점을 가지며, 광학계의 대칭성에 의해 출사면에서 이차 수차가 상쇄된다.
Int. CL H01J 37/05 (2017.07.05) H01J 37/12 (2017.07.05) H01J 49/44 (2017.07.05) G01N 23/225 (2017.07.05) H01J 37/21 (2017.07.05)
CPC
출원번호/일자 1020170076420 (2017.06.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0113491 (2017.10.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0034683 (2016.03.23)
관련 출원번호 1020160034683
심사청구여부/일자 Y (2017.06.16)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오가와 타카시 일본 (*****)대한민국 대전시
2 김주황 대한민국 대전시 유성구
3 박인용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0576396-42
2 보정요구서
Request for Amendment
2017.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0088654-52
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0624274-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0530464-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0799213-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0799253-41
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0740610-24
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-1090991-67
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.11.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1090986-38
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0779198-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
직사각형 개구부를 구비하며, 에너지 분포를 가지고 입사하는 하전입자선에서 미리 정한 에너지 범위에 속한 입자를 선택적으로 통과시키는 선택 조리개(Aperture)를 직사각형 상기 개구부 내부 두께의 중심에 구비한 중앙 전극;입사하는 하전입자선이 통과할 수 있도록 직사각형 개구부를 구비하고 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 각각 나란히 배열된 복수 개의 전극;상기 전방부와 후방부에 각각 배열된 복수 개의 전극의 개구부가 정전렌즈 작용을 하도록 전력을 인가하는 제어전원부; 및 상기 전방부에 배열된 복수 개의 전극이 정전렌즈 작용으로 입사하는 하전입자선을 일방향으로 편향시키고, 상기 후방부에 배열된 복수 개의 전극이 정전렌즈 작용으로 상기 일방향으로 편향된 하전입자선을 원래 위치로 다시 편향시켜 출사시킬 수 있도록, 상기 입사하는 하전입자선의 중심 축으로부터 미리 정한 거리만큼 상기 직사각형 개구부의 짧은 변 방향 중심이 이동되도록 상기 중앙전극 및 상기 복수 개의 전극을 이동조절하는 이동조절부를 포함하고,상기 중앙 전극 및 상기 복수 개의 전극은 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조인,모노크로미터
2 2
제 1항에 있어서,상기 중앙전극의 전방부와 후방부에 각각 배치되는 복수개의 전극은 각각 2개의 전극으로, 상기 중앙전극을 기준으로 대칭구조를 이루며 일체형으로 서로 고정되는,모노크로미터
3 3
제 1항 또는 제 2항의 모노크로미터를 이용한,전자선 손실 분광장치(EELS)
4 4
제 1항 또는 제 2항의 모노크로미터를 투과하는 전자선을 시료실에 위치한 시료에 조사하고, 상기 조사 결과 발생한 전자선의 에너지를 제 1항 또는 제 2항의 모노크로미터를 이용하여 분광하는, 전자선 손실분광 장치(EELS)
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP06389569 JP 일본 FAMILY
2 JP30514050 JP 일본 FAMILY
3 KR101815850 KR 대한민국 FAMILY
4 US10622183 US 미국 FAMILY
5 US20180114672 US 미국 FAMILY
6 WO2017164439 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2018514050 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP6389569 JP 일본 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기본사업 3-2-1하전입자빔기반신물질측정기술개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발