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프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트의 제조방법 및 세라믹 가이드 플레이트(MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND CERAMIC GUID PLATE)

  • 기술번호 : KST2017015751
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의하면, 프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조함에 있어서 하나 이상의 알루미나(Al2O3) 조성의 그린시트와 하나 이상의 저온동시소성세라믹스(LTCC) 조성의 그린시트를 교호 적층하고 이 적층물을 프레스하여 그린 바를 형성하고 상기 그린 바의 일면에 레이저 광을 조사하며, 이때 상기 레이저 광의 조사는 하나의 관통홀 당 레이저 광을 복수회 연속하여 조사하되, 상기 레이저 광의 조사 횟수가 누적될수록 형성되는 홀의 깊이가 깊어지고 최후 레이저 광 조사에 의하여 상기 그린 바가 관통되어 관통홀이 형성되도록 한다. 이리하면, 그린 바를 형성하는 시트들의 수축이 크게 억제되어 관통홀의 위치 정밀도를 향상시킬 뿐만 아니라 공정이 매우 단순화된다. 또한, 위와 같이 복수회로 수행되는 레이저 광 조사에 의한 천공은 단일 레이저 광 조사에 의한 천공보다 관통공의 테이퍼 현상을 억제할 수 있고 더더욱 관통홀의 위치 정밀도를 크게 개선할 수 있다.나아가, 상기 LTCC 그린시트의 조성물에는 카본 파우더를 첨가함으로써 레이저로 천공 시 발생하는 열을 분산하고 저하시켜 레이저의 고온으로 인해 다른 홀에 비해 크기가 2배 이상으로 천공되는 현상인 터짐 현상을 억제할 수 있고 이에 따라 더 정밀하게 관통홀을 형성할 수 있다.
Int. CL C04B 35/10 (2016.05.12) C04B 41/00 (2016.05.12) B32B 18/00 (2016.05.12) B32B 38/04 (2016.05.12)
CPC C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01)
출원번호/일자 1020160037953 (2016.03.29)
출원인 한국세라믹기술원, 주식회사 새한텅스텐
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0113941 (2017.10.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.29)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 새한텅스텐 대한민국 경기도 남양주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여동훈 대한민국 서울시 송파구
2 신효순 대한민국 경기 수원시 장안구
3 안익준 대한민국 서울특별시 강동구
4 인치승 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이두희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***(역삼동) 한신인터밸리** 빌딩 서관 ****호(이훈국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 새한텅스텐 대한민국 경기도 남양주시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0303048-10
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0338871-78
3 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2016.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0052674-43
4 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2016.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0052675-99
5 보정요구서
Request for Amendment
2016.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0052673-08
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0430763-82
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0046015-50
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0649194-63
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1109835-98
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1136967-38
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1252302-96
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1252339-74
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.04.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0368467-52
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0368455-15
16 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0255014-13
17 등록결정서
Decision to grant
2018.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0415132-12
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조하는 방법에 있어서,하나 이상의 알루미나(Al2O3) 조성의 그린시트와 900℃ 이하의 소결온도를 갖는 것으로 정의되는 하나 이상의 저온동시소성세라믹스(LTCC: Low Temperature Co-Fired Ceramics) 조성의 그린시트를 각각 준비하는 단계와;상기 하나 이상의 알루미나 조성의 그린시트와 상기 하나 이상의 LTCC 조성의 그린시트를 교호 적층한 후 압착하여 그린 바를 형성하는 단계와;상기 그린바의 일면에 레이저 광을 1차 조사하여 상기 그린 바를 관통하지 않도록 하는 깊이의 제1홀을 형성하고, 형성된 상기 제1홀의 위치로 레이저 광을 2차 조사하여 상기 그린 바를 관통하는 제2홀을 형성함으로써 상기 제1홀과 제2홀이 상기 관통홀을 이루도록 하되, 상기 2차 조사는 상기 제2홀의 상면의 직경이 제1홀의 저면의 직경보다 더 큰 직경을 갖도록 하고 상기 2차 조사를 위한 레이저 광의 출력은 상기 1차 조사를 위한 레이저 광의 출력보다 더 큰 값으로 증가시킴으로써, 상기 그린바를 관통하는 하나 이상의 관통홀을 천공 및 형성하는 단계와;상기 하나 이상의 관통홀이 형성된 상기 그린 바를 900℃ 이하에서 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 저온동시소성세라믹스 조성의 그린시트는 복수로 되고, 상기 복수의 저온동시소성세라믹스 조성의 그린시트는 모두 서로 동일한 LTCC 조성으로 되거나 또는 모두 서로 다른 LTCC 조성으로 되거나 또는 일부만이 서로 동일한 LTCC 조성으로 되는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 저온동시소성세라믹스 조성은 CaO-Al2O3-SiO2, CaCO3-SiO2-Al2O3-H3BO3-ZnO, 디옵사이드(MgCaSi2O6) 및 코디어라이트[(Mg,Fe)2Al4Si5O18] 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 저온동시소성세라믹스 조성은 카본 파우더를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 카본 파우더의 함량은 상기 저온동시소성세라믹스 조성의 총량대비 1~10wt%인 것을 특징으로 하는 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 관통홀의 터짐 현상을 억제하기 위하여 상기 카본 파우더의 함량은 상기 레이저 광의 출력을 조절함과 함께 조절되는 것을 특징으로 하는 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 하나 이상의 알루미나(Al2O3) 조성의 그린시트와 900℃ 이하의 소결온도를 갖는 것으로 정의되는 하나 이상의 저온동시소성세라믹스 조성의 그린시트를 각각 준비하는 단계는 각 원료분말로 슬러리를 제조하고 상기 슬러리를 테이프캐스팅함으로써 상기 그린시트를 제조함을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 저온동시소성세라믹스 조성은 CaCO3, SiO2, Al2O3, H3BO3 및 ZnO를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
11 11
삭제
12 12
제1항에 있어서,상기 압착은 냉정수압프레스(CIP: Cold Isostatic Press) 및 온정수압프레스(WIP: Warm Isostatic Press) 중의 하나 이상으로 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)새한텅스텐 벤처형전문소재기술개발사업 레이저 가공기술을 적용한 직경 45㎛, Hole 밀도 10,000 Hole/㎠ 수직형 Probe Card용 세라믹 기판