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전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈(Manufacturing method of flexible solar cell with conducting substrate, flexible solar cell and flexible solar cell module thereby)

  • 기술번호 : KST2017015864
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지에 관한 것으로서, 벌크 기판 상부에 반도체층을 형성하는 제1단계와, 상기 반도체층 상부에 후면전극을 형성하는 제2단계와, 상기 후면전극 상부에 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 제3단계와, 상기 벌크 기판을 제거하는 제4단계와, 상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 제5단계와, 상기 홀패턴 내부에 전도성 재료를 충진시키는 제6단계 및 상기 전도성 재료가 홀패턴에 충진된 플렉시블 기판 전면에 금속백시트를 형성하는 제7단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 사용하고, 상기 홀패턴에 전도성 재료를 충진하여 사용함으로써, 플라스틱 재료의 유연성과 전도성 재료의 전도성을 융합시킨 전도성을 갖는 플렉시블 기판을 적용하여, 기존 플렉시블 기판 사용시 문제되는 전기적 및 열적 특성을 향상시켜 태양전지의 성능을 개선시키고, 이러한 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 사용한 플렉시블 태양전지는 직렬로 연결하여 모듈 형태로 사용할 시에 후면전극 연결문제를 해결하고, 무게를 획기적으로 줄일 수 있는 초경량 플렉시블 태양전지 또는 초경량 플렉시블 태양전지 모듈을 제공할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2016.04.28) H01L 31/0224 (2016.04.28) H01L 31/049 (2016.04.28) H01L 31/0236 (2016.04.28) H01L 31/0392 (2016.04.28)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020160036148 (2016.03.25)
출원인 (재)한국나노기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0113798 (2017.10.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.25)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영조 대한민국 경기도 수원시 팔달구
2 정상현 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 김강호 대한민국 대전광역시 중구
4 김창주 대한민국 경기 성남시 분당구
5 신현범 대한민국 경기도 용인시 수지구
6 강호관 대한민국 서울특별시 양천구
7 최재혁 대한민국 경기도 화성시
8 박원규 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0289640-00
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0157741-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0863243-32
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0102215-69
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0204778-11
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0320422-61
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0428519-90
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0060664-64
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0522027-11
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0522026-76
12 등록결정서
Decision to grant
2017.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0744744-26
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번호 청구항
1 1
벌크 기판 상부에 반도체층을 형성하는 제1단계;상기 반도체층 상부에 후면전극을 형성하는 제2단계;상기 후면전극 상부에 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 제3단계;상기 벌크 기판을 제거하는 제4단계;상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 제5단계;상기 홀패턴 내부에 전도성 재료를 충진시키는 제6단계; 및상기 전도성 재료가 홀패턴에 충진된 플렉시블 기판 전면에 금속백시트를 형성하는 제7단계;를 포함하여 이루어지고,상기 홀패턴은,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역에서 상기 금속백시트가 접한 영역으로 갈수록 수평 단면적이 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되거나,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역과 상기 금속백시트가 접한 영역에서의 수평 단면적이 중심부보다 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되며,상기 홀패턴은, 플라즈마 전처리 또는 표면개질용 화합물의 그라프트 반응에 의해 상기 홀패턴 내부의 표면처리에 따른 표면에너지를 증가시키는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 반도체층을 형성하기 전에,상기 벌크 기판 상부에 희생층을 먼저 형성하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 희생층이 형성된 경우에는,상기 제4단계에서의 벌크 기판의 제거는 상기 희생층의 제거를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,10~100㎛로 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 홀패턴의 형상, 크기, 간격 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 플렉시블 기판의 전기전도도, 열전도도, 무게 및 유연성 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물성을 조절하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 홀패턴의 전체 수평 단면적은,상기 플렉시블 기판 전체 수평 단면적의 10~30%로 형성된 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
7 7
제 5항에 있어서, 상기 홀패턴의 지름은 0
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,리소그래피(lithography), 에칭(etching), 레이저 어블레이션(laser ablation) 및 드릴링(drilling) 공정 중 어느 하나의 공정에 의해 홀패턴을 구현하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
12 12
제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,웨이퍼 본딩(wafer bonding) 또는 전도성 접착제에 의해 상기 후면전극 상부에 부착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
13 13
제 1항에 있어서, 상기 제6단계의 전도성 재료의 충진은,전도성 접착제의 충진, 전해 도금 공정(plating) 및 금속 증착(e-beam or thermal evaporation) 중 어느 하나의 방법에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
14 14
제 1항에 있어서, 상기 제7단계의 금속백시트의 형성은,상기 플렉시블 기판 전면에 금속 필름의 부착, 금속 박막의 증착 및 전해 도금 공정 중 어느 하나의 공정에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
15 15
제 1항에 있어서, 상기 후면전극, 전도성 재료 및 금속백시트는 동일한 종류의 재료 또는 서로 다른 종류의 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
16 16
제 1항 내지 제 7항 및 제 11항 내지 제 15항 중 어느 하나의 제조방법에 의해 제조된 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지 모듈
17 17
반도체층과, 상기 반도체층 상부 및 하부에 각각 형성된 전면전극 및 후면전극과, 상기 후면전극 하부에 형성된 플렉시블 기판을 포함하여 이루어진 플렉시블 태양전지에 있어서,상기 플렉시블 기판은 홀패턴이 구비되어 형성되고,상기 홀패턴 내부로 전도성 재료가 충진되어 형성되며,상기 전도성 재료가 홀패턴에 충진된 플렉시블 기판 전면에 금속백시트가 형성되고,상기 홀패턴은,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역에서 상기 금속백시트가 접한 영역으로 갈수록 수평 단면적이 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되거나,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역과 상기 금속백시트가 접한 영역에서의 수평 단면적이 중심부보다 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되며,상기 홀패턴은, 플라즈마 전처리 또는 표면개질용 화합물의 그라프트 반응에 의해 상기 홀패턴 내부의 표면처리에 따른 표면에너지를 증가시키는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
18 18
제 17항에 있어서, 상기 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,10~100㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
19 19
제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 형상, 크기, 간격 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 플렉시블 기판의 전기전도도, 열전도도, 무게 및 유연성 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물성을 조절하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
20 20
제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 전체 수평 단면적은,상기 플렉시블 기판 전체 수평 단면적의 10~30%로 형성된 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
21 21
제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 지름은 0
22 22
삭제
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삭제
24 24
삭제
25 25
제 17항에 있어서, 상기 후면전극, 전도성 재료 및 금속백시트는 동일한 종류의 재료 또는 서로 다른 종류의 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
26 26
제 17항 내지 제 21항 및 제 25항 중의 어느 한 항의 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.