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벌크 기판 상부에 반도체층을 형성하는 제1단계;상기 반도체층 상부에 후면전극을 형성하는 제2단계;상기 후면전극 상부에 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 제3단계;상기 벌크 기판을 제거하는 제4단계;상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 제5단계;상기 홀패턴 내부에 전도성 재료를 충진시키는 제6단계; 및상기 전도성 재료가 홀패턴에 충진된 플렉시블 기판 전면에 금속백시트를 형성하는 제7단계;를 포함하여 이루어지고,상기 홀패턴은,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역에서 상기 금속백시트가 접한 영역으로 갈수록 수평 단면적이 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되거나,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역과 상기 금속백시트가 접한 영역에서의 수평 단면적이 중심부보다 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되며,상기 홀패턴은, 플라즈마 전처리 또는 표면개질용 화합물의 그라프트 반응에 의해 상기 홀패턴 내부의 표면처리에 따른 표면에너지를 증가시키는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 반도체층을 형성하기 전에,상기 벌크 기판 상부에 희생층을 먼저 형성하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 희생층이 형성된 경우에는,상기 제4단계에서의 벌크 기판의 제거는 상기 희생층의 제거를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,10~100㎛로 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 홀패턴의 형상, 크기, 간격 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 플렉시블 기판의 전기전도도, 열전도도, 무게 및 유연성 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물성을 조절하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 홀패턴의 전체 수평 단면적은,상기 플렉시블 기판 전체 수평 단면적의 10~30%로 형성된 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 홀패턴의 지름은 0
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,리소그래피(lithography), 에칭(etching), 레이저 어블레이션(laser ablation) 및 드릴링(drilling) 공정 중 어느 하나의 공정에 의해 홀패턴을 구현하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,웨이퍼 본딩(wafer bonding) 또는 전도성 접착제에 의해 상기 후면전극 상부에 부착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제6단계의 전도성 재료의 충진은,전도성 접착제의 충진, 전해 도금 공정(plating) 및 금속 증착(e-beam or thermal evaporation) 중 어느 하나의 방법에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제7단계의 금속백시트의 형성은,상기 플렉시블 기판 전면에 금속 필름의 부착, 금속 박막의 증착 및 전해 도금 공정 중 어느 하나의 공정에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 후면전극, 전도성 재료 및 금속백시트는 동일한 종류의 재료 또는 서로 다른 종류의 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법
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제 1항 내지 제 7항 및 제 11항 내지 제 15항 중 어느 하나의 제조방법에 의해 제조된 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지 모듈
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반도체층과, 상기 반도체층 상부 및 하부에 각각 형성된 전면전극 및 후면전극과, 상기 후면전극 하부에 형성된 플렉시블 기판을 포함하여 이루어진 플렉시블 태양전지에 있어서,상기 플렉시블 기판은 홀패턴이 구비되어 형성되고,상기 홀패턴 내부로 전도성 재료가 충진되어 형성되며,상기 전도성 재료가 홀패턴에 충진된 플렉시블 기판 전면에 금속백시트가 형성되고,상기 홀패턴은,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역에서 상기 금속백시트가 접한 영역으로 갈수록 수평 단면적이 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되거나,상기 플렉시블 기판에서 상기 후면전극이 접한 영역과 상기 금속백시트가 접한 영역에서의 수평 단면적이 중심부보다 더 넓게 형성되어 전도성 재료가 충진되며,상기 홀패턴은, 플라즈마 전처리 또는 표면개질용 화합물의 그라프트 반응에 의해 상기 홀패턴 내부의 표면처리에 따른 표면에너지를 증가시키는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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제 17항에 있어서, 상기 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판은,10~100㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 형상, 크기, 간격 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 플렉시블 기판의 전기전도도, 열전도도, 무게 및 유연성 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물성을 조절하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 전체 수평 단면적은,상기 플렉시블 기판 전체 수평 단면적의 10~30%로 형성된 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 지름은 0
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제 17항에 있어서, 상기 후면전극, 전도성 재료 및 금속백시트는 동일한 종류의 재료 또는 서로 다른 종류의 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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제 17항 내지 제 21항 및 제 25항 중의 어느 한 항의 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지
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