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플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈(Manufacturing method of flexible solar cell, flexible solar cell and flexible solar cell module thereby)

  • 기술번호 : KST2017015866
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지에 관한 것으로서, 벌크 기판 상부에 반도체층을 형성하는 제1단계와, 상기 반도체층 상부에 경화성 수지층을 형성하는 제2단계와, 상기 경화성 수지층을 패터닝하고 경화하여, 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 제3단계와, 상기 홀패턴 내부에 후면전극을 형성시키는 제4단계와, 상기 벌크 기판을 제거하는 제5단계와, 상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 제6단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 적용하여 플렉시블 기판 사용시 문제되는 전기적 및 열적 특성을 향상시켜 태양전지의 성능을 개선시킬 수 있도록 하였으며, 이러한 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 사용한 플렉시블 태양전지는 직렬로 연결하여 모듈 형태로 사용할 시에 후면전극 연결문제를 해결하고, 무게를 획기적으로 줄일 수 있는 초경량 플렉시블 태양전지 또는 초경량 플렉시블 태양전지 모듈을 제공할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2016.04.27) H01L 31/0445 (2016.04.27) H01L 31/0224 (2016.04.27) H01L 31/068 (2016.04.27)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020160036143 (2016.03.25)
출원인 (재)한국나노기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0113797 (2017.10.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.25)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정상현 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 김창주 대한민국 경기 성남시 분당구
3 김영조 대한민국 경기도 수원시 팔달구
4 김강호 대한민국 대전광역시 중구
5 박형호 대한민국 대전광역시 유성구
6 강호관 대한민국 서울특별시 양천구
7 최재혁 대한민국 경기도 화성시
8 박원규 대한민국 서울특별시 서초구
9 신현범 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0289615-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0157743-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0863242-97
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0102208-49
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0204777-65
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0320416-97
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0428508-98
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2017.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0063158-98
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0522020-03
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0522021-48
12 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0753506-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
벌크 기판 상부에 반도체층을 형성하는 제1단계;상기 반도체층 상부에 경화성 수지층을 형성하는 제2단계;상기 경화성 수지층을 패터닝하고 경화하여, 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 제3단계;상기 홀패턴 내부에 후면전극을 형성시키는 제4단계;상기 벌크 기판을 제거하는 제5단계;상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 제6단계;를 포함하여 이루어지며,상기 제2단계의 경화성 수지층을 형성하기 전에,상기 반도체층 상부에 후면전극시드층을 먼저 형성하고,상기 후면전극은 상기 플렉시블 기판 상측으로 과성장(over growth)시키며, 상기 과성장되는 후면전극은 상기 후면전극시드층 또는 홀패턴 내부의 후면전극과는 서로 다른 종류의 금속으로 형성되어, 상기 후면전극의 전기전도도 또는 플렉시블 기판의 무게를 조절하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 반도체층을 형성하기 전에,상기 벌크 기판 상부에 희생층을 먼저 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 희생층이 형성된 경우에는,상기 제5단계에서의 벌크 기판의 제거는 상기 희생층의 제거를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 후면전극은,상기 홀패턴 내부에 형성되며, 상기 후면전극시드층과 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 후면전극은,도금 공정(plating) 또는 열 증착(thermal evaporation)에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 1항에 있어서, 제 3단계의 경화성 수지층의 패터닝 및 경화는,패터닝 공정에 의한 자외선 경화, 열 경화 및 플라즈마 처리 중 어느 하나의 방법에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 패터닝 공정은,광패터닝(photo patterning), 전자빔패터닝(electron beam patterning) 및 나노임프린팅(nano imprinting) 중 어느 하나의 공정에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
11 11
제 1항에 있어서, 상기 홀패턴의 크기, 피치(pitch) 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 후면전극의 전기전도도 또는 플렉시블 태양전지의 무게를 조절하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
12 12
벌크 기판 상부에 희생층을 형성하고, 그 상부에 반도체층을 형성하는 단계;상기 반도체층 상부에 후면전극시드층을 형성하고, 그 상부에 경화성 수지층을 형성하는 단계;상기 경화성 수지층을 패터닝하고 경화하여, 상기 후면전극시드층 일부를 노출시키는 홀패턴이 구비된 플렉시블 기판을 형성시키는 단계;상기 홀패턴 내부에 상기 후면전극시드층과 접촉되는 후면전극을 형성시키는 단계;상기 후면전극을 홀패턴 상부 및 플렉시블 기판 상부에 과성장시키는 단계;상기 희생층의 제거를 통해 벌크 기판을 제거하는 단계;상기 반도체층 하부에 전면전극을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지며,상기 과성장되는 후면전극은,상기 후면전극시드층 또는 홀패턴 내부의 후면전극과는 서로 다른 종류의 금속으로 형성되어, 상기 후면전극의 전기전도도 또는 플렉시블 태양전지의 무게를 조절하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
13 13
제 12항에 있어서, 상기 후면전극은,도금 공정(plating) 또는 열 증착(thermal evaporation)에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
14 14
삭제
15 15
제 12항에 있어서, 상기 홀패턴의 크기, 피치(pitch) 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 후면전극의 전기전도도 또는 플렉시블 태양전지의 무게를 조절하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지의 제조방법
16 16
제 1항 내지 제 3항, 제 5항, 제 6항, 제 9항, 제 10항 내지 제 13항 및 제 15항 중 어느 하나의 제조방법에 의해 제조된 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지 모듈
17 17
반도체층과, 상기 반도체층 상부 및 하부에 각각 형성된 전면전극 및 후면전극과, 상기 후면전극 하부에 형성된 플렉시블 기판을 포함하여 이루어진 플렉시블 태양전지에 있어서,상기 플렉시블 기판은 상기 후면전극이 일부 노출되는 홀패턴이 구비되어 형성되며,상기 홀패턴 내부로 상기 후면전극과 동일하거나 서로 다른 종류의 금속으로 채워져 상기 후면전극이 연장형성되고,상기 플렉시블 기판 하측으로 상기 홀패턴 내부로 연장형성된 후면전극과 동일하거나 서로 다른 종류의 금속으로 상기 후면전극이 과성장되어 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지
18 18
제 17항에 있어서, 상기 홀패턴의 크기, 피치(pitch) 및 배열 형태 중 어느 하나 또는 둘 이상을 변화시켜 상기 후면전극의 전기전도도 또는 플렉시블 태양전지의 무게를 조절하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지
19 19
제 17항 또는 제 18항의 플렉시블 태양전지는,상기 플렉시블 기판에 형성된 후면전극과 이웃하는 플렉시블 태양전지의 전면전극을 전기적으로 연결하여 모듈형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.