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제 1 면 상에 표면 탄성파 생성용 전극이 구비된 기판; 및상기 기판의 상기 제 1 면에 대향하는 제 2 면에 구비되되, 잉크를 포함하는 잉크 저장조를 포함하되,상기 기판은 상기 표면 탄성파 생성용 전극으로부터 발생한 표면 탄성파가 진행하는 상기 기판의 상기 제 1 면 상의 구역으로 상기 잉크 저장조 내의 상기 잉크를 모세관력을 통해 공급하는 복수의 관통 홀들을 갖는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 있어서,상기 복수의 관통 홀들 각각의 평단면은 원형 또는 다각형인 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 있어서,상기 복수의 관통 홀들 각각으로부터 상기 기판의 상기 제 2 면에서 상기 잉크 저장조 방향으로 연장되도록 구비되는 빨대 형태의 모세관부를 더 포함하는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 3항에 있어서,상기 모세관부의 평단면은 상기 복수의 관통 홀들 각각의 평단면과 동일한 형상을 갖는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 있어서,상기 복수의 관통 홀들 각각에 대응하는 상기 기판의 내부 표면에는 상기 잉크를 대전하기 위한 잉크 대전용 전극이 구비되는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 있어서,상기 잉크를 대전하기 위한 잉크 대전용 전극이 상기 잉크 저장조 내에 구비되는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 있어서,상기 잉크 저장조가 상기 잉크를 대전하기 위한 잉크 대전용 전극 역할을 하는 표면 탄성파 잉크젯 헤드
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제 1항에 개시된 표면 탄성파 잉크젯 헤드; 및상기 표면 탄성파 잉크젯 헤드의 상기 잉크 저장조의 상기 잉크의 수위를 유지하도록 상기 잉크 저장조로 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급부를 포함하는 잉크젯 헤드 시스템
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제 8항에 있어서,상기 표면 탄성파 잉크젯 헤드에 의해 대전되고, 그리고 기화된 미세 입자 형태의 잉크를 박막 증착용 기판으로 유도하는 증착 효율 제어용 전극을 더 포함하는 잉크젯 헤드 시스템
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박막 증착용 기판을 이송하기 위한 이송 장치; 및상기 박막 증착용 기판에 잉크젯 방식으로 박막 증착을 수행하는 제 1항에 개시된 표면 탄성파 잉크젯 헤드를 포함하는 박막 증착 장치
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제 10항에 있어서,상기 표면 탄성파 잉크젯 헤드는 일 방향으로 복수로 구비되는 박막 증착 장치
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