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인가 전극인 제 1전극과, 측정 전극인 제 2전극 및 제 3전극이 형성된 연성인쇄회로기판; 상기 제 1전극에 전원을 인가하는 전원 인가부; 및상기 제 1전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 상기 제 2전극 및 상기 제 3전극에 각각 전달되는 제 1전류값 및 제 2전류값에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 산출부;를 포함하고,상기 제 1전극, 제 2전극 및 제 3전극은 상기 연성인쇄회로기판의 길이 방향을 따라 일렬로 이격하여 배치되고, 상기 제 2전극 및 제 3전극의 양측에는 접지 전극이 형성되는 액막 두께 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1전류값을 증폭시키는 제 1증폭기; 및상기 제 2전류값을 증폭시키는 제 2증폭기;를 더 포함하는 액막 두께 측정 장치
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제 2항에 있어서,상기 제 1증폭기 및 제 2증폭기는 락인앰프(Lock in Amplifier)인 액막 두께 측정 장치
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제 2항에 있어서,상기 산출부는 상기 제 1증폭기를 통해 증폭된 제 1전류값 및 상기 제 2증폭기를 통해 증폭된 제 2전류값에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 액막 두께 측정 장치
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제 4항에 있어서,상기 산출부는 증폭된 상기 제 1전류값 및 제 2전류값의 비율에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 액막 두께 측정 장치
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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정용 연성인쇄회로기판에 있어서,외부로부터 전원을 인가받는 제 1전극; 상기 제 1전극에 전원을 인가하는 경우, 상기 제 1전극으로부터 흘러나와 상기 액막의 유체를 경유하여 전달되는 전류를 각각 전달받는 제 2전극 및 제 3전극; 및 상기 제 2전극 및 제 3전극의 양측에 형성되는 접지 전극;을 포함하고,상기 액막의 두께는 상기 제 2전극이 전달받은 제 1전류값 및 상기 제 3전극이 전달받은 제 2전류값에 기초하여 산출되며,상기 제 1전극, 제 2전극 및 제 3전극은 상기 연성인쇄회로기판의 길이 방향을 따라 일렬로 이격하여 배치되는 액막 두께 측정용 연성인쇄회로기판
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제 8항에 있어서, 상기 액막의 두께는 상기 제 1전류값 및 상기 제 2전류값의 비율에 기초하여 산출되는 액막 두께 측정용 연성인쇄회로기판
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인가 전극인 제 1전극과, 측정 전극인 제 2전극 및 제 3전극이 형성된 연성인쇄회로기판을 포함하되, 상기 제 1전극, 제 2전극 및 제 3전극은 상기 연성인쇄회로기판의 길이 방향을 따라 일렬로 이격하여 배치되며, 상기 제 2전극 및 제 3전극의 양측에는 접지 전극이 형성되는 액막 두께 측정 장치를 이용한 액막 두께 측정 방법에 있어서,액막 내에 상기 연성인쇄회로기판을 배치시키는 단계;전원 인가부가 상기 제 1전극에 전원을 인가하는 단계;상기 제 1전극으로부터 흘러나와 상기 액막의 유체를 경유하여 상기 제 2전극 및 제 3전극으로 각각 전달되는 제 1전류값 및 제 2전류값을 검출하는 단계; 및상기 제 1전류값 및 제 2전류값에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 단계;를 포함하는 액막 두께 측정 방법
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제 12항에 있어서,상기 제 1전류값 및 제 2전류값을 검출하는 단계와 상기 액막의 두께를 산출하는 단계 사이에는, 상기 제 1전류값 및 제 2전류값을 증폭시키는 단계;를 더 포함하고,상기 액막의 두께를 산출하는 단계는 증폭된 상기 제 1전류값 및 제 2전류값에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 단계인 액막 두께 측정 방법
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제 12항에 있어서, 상기 액막의 두께를 산출하는 단계는,상기 제 1전류값 및 제 2전류값의 비율을 산출하는 단계; 및상기 산출된 비율과 상기 액막의 두께와의 상관 관계에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 단계;를 포함하는 액막 두께 측정 방법
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제 12항에 있어서,상기 제 1전류값 및 제 2전류값은 동시에 검출되는 액막 두께 측정 방법
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