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불소화합물 및 수소가 유입되는 분해챔버;상기 분해챔버에 유입된 불소화합물 및 수소에 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치; 및상기 분해챔버의 내부에 배치되어, 상기 전자빔의 전자들을 축적한 뒤 스파크 또는 방전을 통해 상기 불소화합물의 분해 처리를 증진시키는 다수의 전도체;를 포함하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전도체 각각은 볼 형상인 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전도체 각각은 각뿔 또는 원뿔 형상인 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전도체는 상호간에 이격 배치되며, 이격 배치된 상기 다수의 전도체 사이에는 절연체가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제4항에 있어서,상기 절연체의 크기는 상기 전도체의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제4항에 있어서,상기 절연체의 크기는 상기 전도체의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소화합물의 분해 처리장치
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제1항에 있어서, 상기 전자빔 조사장치는 상기 분해챔버의 일측에 대하여 방사상으로 전자빔을 조사하며, 상기 다수의 전도체는 상기 방사상으로 조사되는 전자빔에 대응되도록, 상기 분해챔버의 중심에서 양단으로 갈수록 적재 높이가 높아지도록 배치된 것을 특징으로 하는 전도체를 이용한 불소 화합물의 분해 처리장치
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