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그래핀의 적어도 일부분 상에 유기물질을 형성하여 표면처리하는 단계; 및상기 유기물질 상에 유전박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 유기물질은, 테트라(4-카르복시페닐)포르핀(tetra(4-carboxy phenyl)porphine; TCPP), 테트라페닐포르핀설포네이트(tetraphenylporphinesulfonate; TPPS), 테트라포르펜(4,N-메틸피리딜)(tetraporphen(4,N-methylpyridil); TMPP), 프로토포르피린 IX(protoporphyrin IX), 헤마토포르피린 유도체(hematoporphyrine derivative), 포토프린(photofrin) 및 포토프린 II(photofrin II)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 유전박막은, 산화알루미늄(Al2O3), 산화하프늄(HfO2), 산화아연(ZnO), 산화티타늄(TiO2), 산화탄탈륨(Ta2O5), 산화지르코늄(ZrO2) 및 산화마그네슘(MgO)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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제1항에 있어서,상기 유기물질의 형성은, 물리기상증착(physical vapor deposition; PVD), 화학기상증착(chemical vapor deposition; CVD), 정전 스프레이 증착(electrostatic spray deposition), 기상합성, 스핀코팅, 전기분해 및 스프레이 코팅으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 방법에 의한 것인, 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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제1항에 있어서,상기 유기물질을 형성하여 표면처리하는 단계는, 상기 유기물질을 패터닝하여 비활성 그래핀 상에 상기 유기물질을 선택적으로 형성하는 단계를 포함하는 것인, 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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제1항에 있어서,상기 유전박막을 형성하는 단계는, 원자층증착(atomic layer deposition; ALD) 방법에 의한 것인, 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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제4항에 있어서,상기 원자층증착(atomic layer deposition; ALD) 방법에 의한 유전박막을 형성하는 단계는, 챔버 내에, 유기물질로 표면처리된 그래핀과, 금속-함유 전구체를 공급하는 단계; 및상기 챔버 내로 산소 소스를 공급하는 단계; 를 포함하는 것인, 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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제5항에 있어서,상기 산소 소스는, O2, H2O, O2 플라즈마 및 O3로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법
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그래핀; 상기 그래핀의 적어도 일부분 상에 형성된 유기물질; 및상기 유기물질 상에 형성된 유전박막;을 포함하고, 상기 유기물질은, 테트라(4-카르복시페닐)포르핀(tetra(4-carboxy phenyl)porphine; TCPP), 테트라페닐포르핀설포네이트(tetraphenylporphinesulfonate; TPPS), 테트라포르펜(4,N-메틸피리딜)(tetraporphen(4,N-methylpyridil); TMPP), 프로토포르피린 IX(protoporphyrin IX), 헤마토포르피린 유도체(hematoporphyrine derivative), 포토프린(photofrin) 및 포토프린 II(photofrin II)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 유전박막은, 산화알루미늄(Al2O3), 산화하프늄(HfO2), 산화아연(ZnO), 산화티타늄(TiO2), 산화탄탈륨(Ta2O5), 산화지르코늄(ZrO2) 및 산화마그네슘(MgO)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,표면처리된 그래핀 기판
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제7항에 있어서,상기 표면처리된 그래핀 기판의 표면 거칠기(RMS)는, 0
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제7항 또는 제11항에 따른 표면처리된 그래핀 기판을 포함하는 전자 소자
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제12항에 있어서,상기 전자 소자는 유기전계효과 트랜지스터(OFET), 유기 박막 트랜지스터(OTFT), 유기 발광 다이오드(OLED), 유기 발광 트랜지스터(OLET), 유기 광전변환 장치(OPV), 유기 광검출기(OPD), 유기 태양 전지, 유기 메모리 소자, 터치 패널, 열전 장치(thermoelectric device), 레이저 다이오드, 쇼트키(Schottky) 다이오드, 광전도체, 광검출기, 바이오 센서, 바이오칩 및 가스 센서로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 전자 소자
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