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회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진기 및 그 공진기를 이용한 파장가변 공진방법(Variable wavelength laser resonator using rotatable reflecting mirror)

  • 기술번호 : KST2017016167
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진기 및 그 공진기를 이용한 파장가변 공진방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 파장가변 레이저 공진기에 있어서, 레이저광원을 발진시키는 레이저 발진부; 상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저광원이 입사되어 회절되는 회절격자; 및 상기 회절격자의 표면의 연장선상에 위치하는 회전 중심점을 기준으로 회전되며, 상기 회절격자에서 회절된 레이저광원 중 일부가 수직 입사되어 상기 회절격자로 수직반사시켜 공진시키는 회전반사미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진기에 관한 것이다.
Int. CL H01S 5/14 (2016.05.27) H01S 3/00 (2016.05.27) H01S 5/10 (2016.05.27) H01S 3/08 (2016.05.27)
CPC H01S 5/14(2013.01) H01S 5/14(2013.01) H01S 5/14(2013.01) H01S 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160043486 (2016.04.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0116295 (2017.10.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영식 대한민국 세종시 누리로 **, 첫
2 김기철 대한민국 경기도 안성시
3 이혁교 대한민국 대전 유성구
4 이윤우 대한민국 대전시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0341528-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0053984-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0276468-29
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0546881-37
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0546880-92
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0757174-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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파장가변 레이저 공진기에 있어서, 레이저광원을 발진시키는 레이저 발진부; 상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저광원이 입사되어 회절되는 회절격자; 상기 회절격자의 표면의 연장선상에 위치하는 회전 중심점을 기준으로 회전되며, 상기 회절격자에서 회절된 레이저광원 중 일부가 수직 입사되어 상기 회절격자로 수직 반사시켜 공진시키는 회전반사미러; 및상기 회전반사미러를 상기 회전중심점을 기준으로 회전구동시키는 미러각도조절부를 포함하고,상기 회전중심점은 상기 회전반사미러 내에 위치되며, 상기 회전중심점은 상기 회절격자 표면 연장선과, 상기 레이저발진부의 발진방향과 수직되는 연장선의 교차점에 위치하고, Lf = Lpsinθ 및 Lt = Lpsinφ조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진기:상기 Lf는 레이저 발진기와 레이저광원의 입사지점과의 거리이고, Lp는 상기 입사지점과 상기 회전중심점까지의 거리이고, Lt는 회절격자 입사지점과 상기 회전반사미러에 반사되는 지점까지의 거리이다
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회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진방법에 있어서, 레이저발진부에서 다양한 파장을 갖는 레이저광원이 발진되는 단계; 상기 레이저광원이 회절격자에 입사되어 다양한 회절각도로 회절되는 단계; 및회절된 레이저광원 중 일부가 회전반사미러에 수직으로 입자되어 상기 회절격자 측으로 반사되어 특정 파장이 공진되어 발진되는 단계;를 포함하고, 미러각도조절부가 상기 회전반사미러를 회전중심점을 기준으로 회전구동시키며,상기 회전반사미러의 내부에 회전중심점을 가지며, 상기 회전중심점은 상기 회절격자의 표면의 연장선상에 위치하고, 상기 회절격자 표면 연장선과, 상기 레이저발진부의 발진방향과 수직되는 연장선의 교차점에 위치하며,Lf = Lpsinθ 및 Lt = Lpsinφ조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진방법:Lf는 레이저 발진기와 레이저광원의 입사지점과의 거리이고, Lp는 상기 입사지점과 상기 회전중심점까지의 거리이고, Lt는 회절격자 입사지점과 상기 회전반사미러에 반사되는 지점까지의 거리이다
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파장가변 레이저 공진 시스템에 있어서, 제 1항에 따른 레이저 공진기;상기 레이저 공진기에 의해 발진된 공진파장을 분석하는 분석수단; 및상기 공진파장에 대한 상기 분석수단에서 분석된 분석데이터와, 상기 회전반사미러의 회전각도, 회절격자의 주기, 모드넘버, 입사각, 회절각을 저장하는 데이터베이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진시스템
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제 8항에 있어서, 상기 데이터베이스에 저장된 데이터를 기반으로, 원하는 공진파장이 발진되도록 상기 미러각도조절부를 제어하여 상기 회전반사미러의 각도를 변경하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진시스템
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제 9항에 있어서, 상기 데이터베이스에 저장되는 공진파장에 대한 분석데이터와, 상기 회전반사미러의 회전각도, 회절격자의 주기, 모드넘버, 입사각 및 회절각을 실시간으로 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진시스템
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제 8항에 따른 레이저 공진시스템을 적용한 레이저 파장가변방법에 있어서, 레이저발진부에서 다양한 파장을 갖는 레이저광원이 발진되는 단계; 상기 레이저광원이 회절격자에 입사되어 다양한 회절각도로 회절되는 단계; 및회절된 레이저광원 중 일부가 회전반사미러에 수직으로 입자되어 상기 회절격자 측으로 반사되어 특정 파장이 공진되어 발진되는 단계;분석수단이 상기 레이저 공진기에 의해 발진된 공진파장을 분석하는 단계; 제어부가 상기 분석수단에 의해 분석된 데이터를 기반으로, 상기 회전반사미러를 상기 회전중심점을 기준으로 회전구동시키는 미러각도조절부를 제어하여 상기 회전반사미러의 회전각도를 변경하여 공진파장을 가변시키는 단계;를 포함하고, 상기 회전반사미러의 내부에 회전중심점을 가지며, 상기 회전중심점은 상기 회절격자의 표면의 연장선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 레이저 파장가변방법
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제 12항에 있어서, 데이터베이스가 상기 공진파장에 대한 상기 분석수단에서 분석된 분석데이터와, 상기 회전반사미러의 회전각도, 회절격자의 주기, 모드넘버, 입사각, 회절각을 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 레이저 파장가변방법
14 14
제 13항에 있어서, 디스플레이부가 상기 데이터베이스에 저장되는 공진파장에 대한 분석데이터와, 상기 회전반사미러의 회전각도, 회절격자의 주기, 모드넘버, 입사각 및 회절각을 실시간으로 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 반사미러를 이용한 레이저 파장가변방법
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국표준과학연구원 산업융합원천기술개발사업 회절광학소자용 700nm급 이하의 미세패턴 가공을 위한 절삭가공공정 원천기술 개발
2 산업통상자원부 한국표준과학연구원 신성장동력장비경쟁력강화사업 5층 이상의 다층막 구조분석을 위한 토모그라피 기술 개발