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생체조직의 외부에 위치하는 기판;상기 기판 상에서 일 방향으로 연장되고, 바늘(needle) 형상의 단부를 구비하여 상기 생체조직의 내부로 삽입 가능하도록 형성되는 적어도 하나의 기둥부;상기 생체조직의 외부에서 상기 생체조직 내부의 전기적 신호를 감지하도록, 전도성 재질로 이루어지고, 상기 기둥부에 구비되는 상기 단부 및 상기 기판 상에 형성되어 상기 단부와 상기 기판 사이를 전기적으로 연결하는 배선층;상기 단부를 제외한 나머지 영역과 접하는 상기 생체조직의 전기적 신호를 차단하도록, 절연물로 이루어지며, 상기 단부 및 상기 기판의 일부분을 제외한 상기 배선층의 나머지 영역을 감싸도록 형성되는 제1 절연층; 및절연물로 이루어지며, 상기 기판 및 상기 기둥부를 감싸도록 형성되는 제2 절연층을 더 포함하고,상기 단부는 기 설정된 각도를 갖도록 형성되며, 상기 배선층은 상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층 사이에 배치되며, 상기 단부를 통하여 노출되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 배선층은 상기 기판의 단부까지 연장되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 실리카(SiO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 파릴렌(parylene)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 기둥부의 단면은 원형 또는 사각형으로 형성되고, 상기 기둥부의 지름 또는 한 변의 길이는, 20 마이크로미터 이상 400 마이크로미터 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 기둥부의 높이는, 50 마이크로미터 이상 1000 마이크로미터 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 단부가 이루는 각도는, 10도 이상 20도 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 기둥부는 제1 및 제2 기둥으로 구성되어 상기 기판 상에 배열되며,상기 배선층은 상기 제1 및 제2 기둥에 각각 형성되는 제1 및 제2 배선을 구비하고,상기 제1 및 제2 배선은 각각 상기 생체조직 내부로부터 서로 다른 종류의 전기적 신호를 감지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 기둥부는 제1 및 제2 기둥으로 구성되어 상기 기판 상에 배열되며,상기 배선층은 상기 제1 및 제2 기둥에 각각 형성되는 제1 및 제2 배선을 구비하고,상기 제1 및 제2 배선을 통해 감지되는 상기 전기적 신호의 크로스 체크(cross-check)를 위하여, 상기 제1 및 제2 배선은 상기 생체조직 내부로부터 서로 같은 종류의 전기적 신호를 감지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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제1항에 있어서,상기 기둥부는 각각 제1 및 제2 단부를 구비하는 제1 및 제2 기둥으로 구성되어 상기 기판 상에 배열되며,상기 배선층은 상기 제1 및 제2 기둥에 각각 형성되는 제1 및 제2 배선을 구비하고,상기 제1 및 제2 단부가 상기 생체조직 내부에서 서로 다른 부분에 위치하도록, 상기 제1 및 제2 기둥은 서로 다른 높이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자
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일 방향으로 연장되는 적어도 하나의 기둥부를 기판 상에 형성시키는 제1 단계;상기 기둥부가 생체조직의 내부로 삽입 가능하도록, 상기 기둥부의 단부를 기설정된 각도를 갖도록 바늘(needle) 형상으로 가공하는 제2 단계;상기 생체조직의 외부에서 상기 생체조직 내부의 전기적 신호의 감지가 가능하도록, 상기 단부와 상기 생체조직의 외부에 위치하는 상기 기판 사이를 전기적으로 연결하는 배선층을 상기 단부 및 상기 기판 사이에 형성시키는 제3 단계;절연물로 이루어지는 제1 절연층을 상기 배선층 상에 증착시키는 제4 단계; 및상기 단부를 제외한 나머지 영역과 접하는 상기 생체조직의 전기적 신호를 차단하도록, 상기 단부와 상기 기판의 일부분에 형성된 상기 제1 절연층을 제거하여 상기 배선층을 상기 단부 및 상기 기판의 일부분에서 외부로 노출시키는 제5 단계를 포함하며,상기 제2 단계 이후, 절연물로 이루어는 제2 절연층을 상기 기둥부 및 상기 기판 상에 증착시키는 단계를 더 포함하고,상기 제3 단계는 상기 배선층을 상기 제2 절연층이 증착된 상기 단부 및 상기 기판 사이에 형성시키는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자 제조 방법
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