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압저항기를 가지는 MEMS 압력 센서에 있어서,비아홀이 형성된 글래스 기판과;상기 글래스 기판상에 형성된 실리콘 기판과;상기 실리콘 기판에 형성된 홈에 채워진 압저항기와;상기 실리콘 기판의 노출면 및 상기 압저항기 상에 형성되는 절연막과;압력에 영향을 받지 않도록 상기 절연막 상에 형성되고, 온도가 증가함에 따라 저항값이 감소하는 온도 보상 저항기와;상기 온도 보상 저항기와 상기 압저항기를 연결하는 미세금속 배선을 포함하며,상기 온도 보상 저항기는 상기 압저항기의 온도특성을 상쇄시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도 보상 저항기는 하나 또는 다수개인 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도 보상 저항기는 NTC(Negative Temperature Coefficient) 특성을 갖는 저항기인 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도 보상 저항기는 박막 형태의 천이금속 산화물인 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도 보상 저항기는,상기 실리콘 기판의 노출면에 형성된 절연막에 형성되고, 상기 온도 보상 저항기가 형성된 절연막은 상기 압저항기와 이격되도록 상기 압저항기 상에 형성된 절연막의 높이보다 높게 돌출된 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서
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압저항기를 가지는 MEMS 압력 센서를 제조하는 방법에 있어서,실리콘 기판에 형성된 홈에 압저항기를 형성하는 단계와;상기 실리콘 기판의 노출면 및 상기 압저항기 상에 절연막을 형성하는 단계와;압력에 영향을 받지 않도록, 상기 실리콘 기판의 노출면에 형성된 절연막 상에 온도가 증가함에 따라 저항값이 감소하는 온도 보상 저항기를 형성하는 단계와;상기 온도 보상 저항기와 상기 압저항기를 연결하는 금속 배선을 형성하는 단계와;상기 실리콘 기판과 압력홀이 형성된 글래스 기판을 접합하는 단계를 포함하며,상기 온도 보상 저항기는 상기 압저항기의 온도특성을 상쇄시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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