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유기반도체 박막의 제조방법 및 그를 포함하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법(METHOD FOR PREPARING ORGANIC SEMICONDUCTOR THIN FILM AND METHOD FOR FABRICATING ORGANIC FIELD-EFFECT TRANSISTOR COMPRISING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017016285
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 유기반도체가 용해된 유기반도체 용액을 준비하고, 상기 유기반도체 용액을 교반하는 시간을 조절함으로써 상기 유기반도체의 결정핵의 개수가 조절된 유기반도체 용액을 제조하는 단계; (b) 결정핵의 개수가 조절된 상기 유기반도체 용액을 기판 상에 코팅하여 유기반도체 용액/기판을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 유기반도체 용액/기판의 유기반도체 용액을 용매의 증기와 접촉시키고 상기 유기반도체 용액의 용매를 증발시켜 유기반도체 용액의 유기반도체를 결정화시킴으로써, 상기 결정핵을 중심으로부터 성장된 다수의 결정 그레인(crystal grain)이 서로 만나 형성된 응집 결정을 포함하는 유기반도체 박막을 제조하는 단계;를 포함하고, 상기 결정핵의 개수를 조절하여 상기 유기반도체 박막의 상기 응집 결정에 포함된 상기 결정 그레인의 크기(grain size)를 조절하는 것인, 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법이 제공된다. 본 발명의 유기반도체 박막의 제조방법은 유기반도체 용액의 교반 시간을 조절함으로써 유기반도체의 응집 개수를 조절하여, 유기반도체 박막의 결정입도를 조절시키고, 용액 공정을 적용할 수 있다. 또한, 결정입도가 큰 유기반도체 박막을 적용하여 전계효과 이동도가 향상된 유기전계효과 트랜지스터를 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 51/00 (2017.10.14) H01L 51/05 (2017.10.14)
CPC
출원번호/일자 1020170126384 (2017.09.28)
출원인 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단, 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0117939 (2017.10.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0037833 (2016.03.29)
관련 출원번호 1020160037833
심사청구여부/일자 Y (2017.09.28)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이위형 대한민국 서울특별시 광진구
2 키 반 응우엔 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 경상북도 포항시 남구
2 건국대학교 산학협력단 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0954064-66
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0873132-97
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0152015-85
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0152048-81
5 등록결정서
Decision to grant
2018.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0373503-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 유기반도체가 용해된 유기반도체 용액을 준비하고, 상기 유기반도체 용액을 교반하는 시간을 조절함으로써 상기 유기반도체의 결정핵의 개수가 조절된 유기반도체 용액을 제조하는 단계; (b) 결정핵의 개수가 조절된 상기 유기반도체 용액을 기판 상에 코팅하여 유기반도체 용액/기판을 제조하는 단계; 및(c) 상기 유기반도체 용액/기판의 유기반도체 용액의 용매를 증발시켜 상기 유기반도체를 상기 기판 상에 형성하고, 상기 기판 상에 형성된 상기 유기반도체를 결정화시켜 상기 결정핵을 중심으로부터 성장된 다수의 결정 그레인(crystal grain)이 서로 만나 형성된 응집 결정을 포함하는 유기반도체 박막을 제조하는 단계;를 포함하고,상기 결정핵의 개수를 조절하여 상기 유기반도체 박막의 상기 응집 결정에 포함된 상기 결정 그레인의 크기(grain size)를 조절하는 것인,유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,단계 (a)의 교반하는 시간이 1분 내지 24시간인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
3 3
제2항에 있어서,단계 (a)의 교반하는 시간이 1분 내지 15시간인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
4 4
제3항에 있어서,단계 (a)의 교반하는 시간이 3분 내지 13시간인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
5 5
제4항에 있어서,단계 (a)의 교반이 무산소의 어두운 조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 유기반도체가 트리에틸실릴에티닐 안트라디티오펜(TES-ADT), 폴리(3-헥실티오펜), TIPS-펜타센(TIPS-Pentacene), F8T2, PTCDI 및 PQT12 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 유기반도체가 트리에틸실릴에티닐 안트라디티오펜(TES-ADT)인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 유기반도체 용액의 용매가 톨루엔, 벤젠, 디클로로메탄, 클로로벤젠, 클로로포름 및 디클로로에탄 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 유기반도체 용액의 용매가 톨루엔인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
10 10
제1항에 있어서,단계 (c)에서, 상기 기판 상에 형성된 상기 유기반도체를 결정화시키는 것이 상기 기판 상에 형성된 상기 유기반도체를 용매 증기에 접촉시켜 상기 유기반도체를 결정화시키는 것이고,상기 용매가 디클로로에탄(1,2-dichloroethane), 톨루엔, 벤젠, 디클로로메탄, 클로로벤젠 및 클로로포름 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
11 11
제10항에 있어서,상기 용매가 디클로로에탄(1,2-dichloroethane)인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
12 12
제1항에 있어서,단계 (b) 전에 (b-1) 상기 기판상에 하이드록시기를 갖는 고분자를 코팅하여 고분자 브러쉬를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 고분자가 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트 및 폴리에틸렌옥사이드 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 고분자가 폴리스티렌인 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 미래창조과학부 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 글로벌프론티어사업 소프트 일렉트로닉스 집중형 실험실 구성 및 융합기술