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수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법(Atypical etching interface forming method by the induced plasma under water)

  • 기술번호 : KST2017016298
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에너지원의 조사 방향 등의 조작 없이도 식각면을 독특한 불규칙 패턴 구조로 형성시킬 수 있으며, 그 과정에서 파티클 오염이나 식각 부위 주변에 크랙이 발생하지 않도록 하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법에 관한 것이다.본 발명은 『(a) 일면에 코팅막이 형성된 기판을 물에 넣는 단계; (b) 상기 기판의 코팅막 부분에 플라즈마 유도 에너지원을 조사하는 단계; 및 (c) 상기 에너지원의 출력을 높여 플라즈마와 함께 직경 1㎜ 이상의 기포가 발생하도록 하여, 비정형 식각계면이 형성되도록 하는 단계;를 포함하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법』을 제공한다.
Int. CL H01J 37/32 (2016.05.18) C23C 14/00 (2016.05.18) H05H 1/24 (2016.05.18)
CPC H01J 37/32009(2013.01) H01J 37/32009(2013.01) H01J 37/32009(2013.01)
출원번호/일자 1020160044658 (2016.04.12)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0117256 (2017.10.23) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울특별시 동작구
2 김성준 대한민국 대구광역시 동구
3 안욱성 대한민국 경기도 수원시 팔달구
4 최기인 대한민국 서울시 용산구
5 김선택 대한민국 경기도 성남시 분당구
6 이명규 대한민국 경기도 안양시 만안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인세원 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0350115-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0056466-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0264906-01
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0562348-99
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0562350-81
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0600713-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 일면에 코팅막이 형성된 기판을 물에 넣는 단계; (b) 상기 기판의 코팅막 부분에 플라즈마 유도 에너지원을 조사하는 단계; 및(c) 상기 에너지원의 출력을 높여 플라즈마와 함께 직경 1㎜ 이상의 기포가 발생하도록 하여, 물방울이 불규칙하게 튄 형태의 비정형 식각계면이 형성되도록 하는 단계; 를 포함하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법
2 2
제1항에서,상기 (a)단계는 상기 기판을 흐르는 물에 넣는 것을 특징으로 하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법
3 3
제1항 또는 제2항에서,상기 코팅막은 전기전도막인 것을 특징으로 하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법
4 4
제1항 또는 제2항에서,상기 기판과 코팅막이 투명한 것을 특징으로 하는 수중 플라즈마 유도에 의한 비정형 식각계면 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 지식경제 기술혁신사업 (벤처형 전문소재 기술개발사업) SPD법에 의한 대면적 (1,100×1,300㎟) 박판 (0.5 t) FTO 투명전도막 개발