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절연성 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 검지물질로 구성된 검지층을 형성하는 단계;상기 검지층에 한 쌍의 외부연결선을 부착하는 단계; 및기판과 검지층을 감싸는 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 검지층을 형성하는 단계에서 스퍼터링 공정으로 V2O5에 Ti, W, In 및 Li 중 하나의 물질이 5~15 wt% 범위로 첨가된 검지물질 박막을 50㎛ 이하의 두께로 형성하여 저항이 1 MOhm이하인 검지층을 형성함으로써,상기 기판의 두께가 0
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청구항 1에 있어서,상기 검지층을 형성하는 단계 이후에 공기 중에서 300~850℃ 범위로 2~5시간 동안 열처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서의 제조방법
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[청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 4에 있어서,하나의 기판에 여러 개의 초소형 온도센서를 제작하기 위하여, 상기 전극 패드를 여러 쌍 형성하고, 상기 보호막을 형성하기 전에 한 쌍의 전극 패드가 포함되도록 검지층이 형성된 기판을 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 외부연결선을 부착한 뒤에 100∼300℃에 30분간 건조열처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 외부연결선을 부착하는 단계 이후에, 검지층의 저항을 설정된 수치 이내로 조절하는 저항 조절 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서의 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 저항 조절 단계가 검지층이 형성된 기판의 일부를 절단하여 수행되는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서의 제조방법
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[청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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[청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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절연성 기판;상기 기판 위에 형성된 검지층;상기 검지층에 부착된 한 쌍의 외부연결선; 및상기 기판과 검지층을 모두 감싸는 보호막으로 구성되며,상기 검지층이 V2O5에 Ti, W, In 및 Li 중에 하나의 물질이 5~15 wt% 범위로 첨가된 검지물질 박막이고, 상기 검지층의 저항이 1 MOhm이하의 범위이며,상기 기판의 두께가 0
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청구항 11에 있어서,상기 외부연결선이 구리, 알루미늄, 금, 백금 중에 어느 하나 또는 이들의 합금으로 구성되며, 직경이 0
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청구항 11에 있어서,상기 검지층에 상기 외부연결선을 부착하기 위한 한 쌍의 전극패드가 형성된 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서
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청구항 11에 있어서,상기 보호막이 알루미나 또는 실리카 재질이고, 두께가 30~80㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서
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청구항 11에 있어서,상기 보호막 외부로 노출된 외부연결선을 감싸는 유연성 폴리머 코팅을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉식 초소형 온도센서
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[청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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